METHOD AND APPARATUS FOR PROCESSING A SUBSTRATE IN CLEANING MODULES

Embodiments described herein generally relate to equipment used in the manufacturing of electronic devices, and more particularly, to a cleaning system, cleaning system hardware and related methods which may be used to transport and clean the surface of a substrate. According to one embodiment, a blade handling assembly for handling a substrate in a cleaning system includes a gripping assembly including a pair of gripping blades, the blades operable with a gripping actuator to hold a substrate at its edges. The assembly includes a first blade actuator for moving the gripping assembly and substrate between a horizontal and a vertical orientation utilizing a first axis. The assembly includes a second blade actuator for moving the vertically oriented gripping assembly and substrate 180 degrees utilizing a second axis, thereby causing the substrate to face an opposite direction. Movement utilizing the first axis results in rotation of the first and second blade actuators and movement utilizing the second axis results in rotation of only the second blade actuator. Des modes de réalisation de la présente invention concernent généralement un équipement utilisé dans la fabrication de dispositifs électroniques, et plus particulièrement, un système de nettoyage, un matériel de système de nettoyage et des procédés associés qui peuvent être utilisés pour transporter et nettoyer la surface d'un substrat. Selon un mode de réalisation, un ensemble de manipulation de lame pour manipuler un substrat dans un système de nettoyage comprend un ensemble de préhension comprenant une paire de lames de préhension, les lames pouvant fonctionner avec un actionneur de préhension pour maintenir un substrat au niveau de ses bords. L'ensemble comprend un premier actionneur de lame pour déplacer l'ensemble de préhension et le substrat entre une orientation horizontale et une orientation verticale à l'aide d'un premier axe. L'ensemble comprend un second actionneur de lame pour déplacer l'ensemble de préhension orienté verticalement et le substrat de 180 degrés à l'aide d'un second axe, amenant ainsi le substrat à faire face à une direction opposée. Le mouvement utilisant le premier axe entraîne la rotation des premier et second actionneurs de lame et le mouvement utilisant le second axe entraîne la rotation uniquement du second actionneur de lame.