SELECTIVE GAS SENSOR
The invention relates to selective gas sensors. The proposed selective gas sensor comprising a light source, a sensor chip and a light detector; the sensor chip having an optical input and an optical output, where the light source is optically connected with the optical input of the sensor chip; the...
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Format: | Patent |
Sprache: | eng ; fre |
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Zusammenfassung: | The invention relates to selective gas sensors. The proposed selective gas sensor comprising a light source, a sensor chip and a light detector; the sensor chip having an optical input and an optical output, where the light source is optically connected with the optical input of the sensor chip; the optical output of the sensor chip is optically connected with the optical input of the light detector with ability to guide a light from the light source output to the optical input of the light detector; wherein the sensor chip comprises a substrate, an asymmetric Mach- Zehnder interferometer, comprising multiple asymmetrical Mach-Zehnder interferometer structures optically connected in parallel, each having different pores size of the polymer cladding and has multiple outputs that correspond to each of the Mach-Zehnder interferometer structures outputs; wherein the pore sizes of each polymer cladding differ by 0.02 nm to 0.1 nm. The invention also provides a method for manufacturing the proposed selective gas sensor.
L'invention concerne des capteurs de gaz sélectifs. Le capteur de gaz sélectif proposé comprend une source de lumière, une puce de capteur et un détecteur de lumière ; la puce de capteur comporte une entrée optique et une sortie optique, la source de lumière étant optiquement connectée à l'entrée optique de la puce de capteur ; la sortie optique de la puce de capteur est optiquement connectée à l'entrée optique du détecteur de lumière avec la capacité de guider une lumière, de la sortie de source de lumière vers l'entrée optique du détecteur de lumière ; la puce de capteur comprenant un substrat, un interféromètre de Mach-Zehnder asymétrique, comportant de multiples structures d'interféromètre de Mach-Zehnder asymétrique connectées optiquement en parallèle, présentant chacune une taille de pores différente de celle de la gaine de polymère, et présentant de multiples sorties qui correspondent à chacune des sorties de structures d'interféromètre de Mach-Zehnder ; les tailles de pores de chaque gaine de polymère différant de 0,02 nm à 0,1 nm. L'invention concerne également un procédé de fabrication du capteur de gaz sélectif proposé. |
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