GAS COOLING COVER FOR AN EXHAUST LINE OF A SUBSTRATE PROCESSING SYSTEM

A gas cooling cover for an exhaust connector of a substrate processing system includes a first cover portion configured for arrangement around a first portion of the exhaust connector of the substrate processing system and including a first body defining a first gas plenum and a second gas plenum. A first gas inlet is arranged on an outer surface of the first body and in fluid communication with the first gas plenum. A first plurality of nozzles is arranged on an inner surface of the first cover portion and in fluid communication with the first gas plenum. A first plurality of exhaust ports is arranged on the inner surface of the first cover portion and configured to direct gas located between the first cover portion and the first portion of the exhaust connector to the second gas plenum of the first body. Un couvercle de refroidissement de gaz pour un connecteur d'échappement d'un système de traitement de substrat comprend une première partie de couvercle conçue pour être disposée autour d'une première partie du connecteur d'échappement du système de traitement de substrat et comprenant un premier corps définissant un premier plénum de gaz et un second plénum de gaz. Une première entrée de gaz est disposée sur une surface externe du premier corps et en communication fluidique avec le premier plénum de gaz. Une première pluralité de buses est disposée sur une surface interne de la première partie de couvercle et en communication fluidique avec le premier plénum de gaz. Une première pluralité d'orifices d'échappement est disposée sur la surface interne de la première partie de couvercle et configurée pour diriger le gaz situé entre la première partie de couvercle et la première partie du connecteur d'échappement vers le second plénum de gaz du premier corps.