VACUUM SEAL FOR ELECTROSTATIC CHUCK

Exemplary substrate support assemblies may include an electrostatic chuck body. The body may include a support plate defining a substrate support surface. The body may include a base plate coupled with the support plate. A bottom surface of the base plate may define an annular recess. The body may include a cooling plate coupled with the base plate. The assemblies may include a support stem coupled with the body. The assemblies may include a heater embedded within the body. The assemblies may include one or more electrodes embedded within the body. The assemblies may include an annular plate disposed within the annular recess. The annular plate may have a thermal conductivity of less than about 20 W/mK. The assemblies may include a vacuum sealing element disposed between the annular plate and the cooling plate. The assemblies may include a thermal gasket disposed radially inward of the vacuum sealing element. La présente invention concerne des ensembles de support de substrat qui peuvent comprendre un corps de mandrin électrostatique. Le corps peut comprendre une plaque de support définissant une surface de support de substrat. Le corps peut comprendre une plaque de base couplée à la plaque de support. Une surface inférieure de la plaque de base peut définir un évidement annulaire. Le corps peut comprendre une plaque de refroidissement couplée à la plaque de base. Les ensembles peuvent comprendre une tige de support couplée au corps. Les ensembles peuvent comprendre un dispositif de chauffage incorporé au corps. Les ensembles peuvent comprendre une ou plusieurs électrodes incorporées à l'intérieur du corps. Les ensembles peuvent comprendre une plaque annulaire disposée à l'intérieur de l'évidement annulaire. La plaque annulaire peut avoir une conductivité thermique inférieure à environ 20 W/mK. Les ensembles peuvent comprendre un élément d'étanchéité sous vide disposé entre la plaque annulaire et la plaque de refroidissement. Les ensembles peuvent comprendre un joint thermique disposé radialement vers l'intérieur de l'élément d'étanchéité sous vide.