METHOD FOR DETERMINING A CHARACTERISTIC VALUE OF AN OPTICAL SYSTEM

The present invention relates to a method (400) for determining a characteristic value of an optical system (100), wherein the optical system (100) comprises a sample (200) and an optical measurement device (300), wherein the optical measurement device (300) is configured for measuring a plurality of optical signals (302) generated from different portions of the sample (200), wherein a characteristic value of the optical system (100) is determined by evaluating a degree of variation of the plurality of optical signals (302). The characteristic value may be a size of at least one measurement spot (304); an optical resolution of the optical measurement device (300); and/or a characteristic extension (212) of a pattern (214) in the sample (200), wherein evaluating the degree of variation of the plurality of optical signals (302) comprises determining an interim value by using an average of the plurality of the optical signals (302) and the standard deviation of the plurality of the optical signals (302). The present invention further relates to an optical measurement device (300), an evaluation device (310), a computer program, a computer-readable storage medium and the use a sample (200) for performing the method (400) for determining a characteristic value of an optical system. The present invention exhibits the advantage of a reliable, fast and efficient approach for determining the characteristic value of an optical system and an optical measurement device. La présente invention concerne un procédé (400) de détermination d'une valeur caractéristique d'un système optique (100), le système optique (100) comprenant un échantillon (200) et un dispositif de mesure optique (300), le dispositif de mesure optique (300) étant configuré pour mesurer une pluralité de signaux optiques (302) générés à partir de différentes parties de l'échantillon (200), et une valeur caractéristique du système optique (100) étant déterminée par l'évaluation d'un degré de variation de la pluralité de signaux optiques (302). La valeur caractéristique peut correspondre à la taille d'au moins un point de mesure (304), à une résolution optique du dispositif de mesure optique (300) et/ou à une extension caractéristique (212) d'un motif (214) dans l'échantillon (200), l'évaluation du degré de variation de la pluralité de signaux optiques (302) consistant à déterminer une valeur intermédiaire à l'aide d'une moyenne de la pluralité de signaux optiques (302) et de l'écart type de la pluralité