MINIATURE ELECTRON OPTICAL COLUMN WITH A LARGE FIELD OF VIEW

A miniature electron optical column apparatus is disclosed. The apparatus may include a set of electron-optical elements configured to direct a primary electron beam to a sample. The set of electron-optical elements may include an objective lens. The apparatus may also include a deflection sub-system. The deflection sub-system may include one or more pre-lens deflectors positioned between an electron beam source and the objective lens. The deflection sub-system may also include a post-lens deflector positioned between the objective lens and the sample. The deflection sub-system may also include a post-lens miniature optical element positioned between the objective lens and the sample. La présente invention divulgue un appareil de colonne opto-électronique miniature. L'appareil peut comprendre un ensemble d'éléments opto-électroniques configurés pour diriger un faisceau d'électrons primaire vers un échantillon. L'ensemble d'éléments électro-optiques peut comprendre une lentille d'objectif. L'appareil peut également comprendre un sous-système de déviation. Le sous-système de déviation peut comprendre un ou plusieurs déflecteurs avant la lentille positionnés entre une source de faisceau d'électrons et la lentille d'objectif. Le sous-système de déviation peut également comprendre un déflecteur après la lentille positionné entre la lentille d'objectif et l'échantillon. Le sous-système de déviation peut également comprendre un élément optique miniature après la lentille positionné entre la lentille d'objectif et l'échantillon.