SCANNING ELECTRON MICROSCOPE AND SPECIMEN OBSERVATION METHOD

The present invention comprises a deflector (114) having an electron conversion electrode (141) that is positioned such that secondary electrons emitted from a specimen when irradiated with a primary electron beam collide therewith, a first electrode (142) and a second electrode (143) that are permeable to electrons and are positioned facing one another, and a third electrode (144) that is positioned facing the first electrode (142) with the second electrode (143) interposed therebetween. The electron conversion electrode (141) is segmented into a plurality of segmented electrodes, and the potential of the third electrode (144) has a positive potential difference relative to the potential of the second electrode (143). La présente invention comprend un déflecteur (114) ayant une électrode de conversion d'électrons (141) qui est positionnée de telle sorte que des électrons secondaires émis à partir d'un échantillon lorsqu'il est exposé à un rayonnement avec un faisceau d'électrons primaires entrent en collision avec celle-ci, une première électrode (142) et une deuxième électrode (143) qui sont perméables aux électrons et sont positionnées l'une en face de l'autre et une troisième électrode (144) qui est positionnée en face de la première électrode (142) avec la deuxième électrode (143) intercalée entre celles-ci. L'électrode de conversion d'électrons (141) est segmentée en une pluralité d'électrodes segmentées et le potentiel de la troisième électrode (144) présente une différence de potentiels positive par rapport au potentiel de la deuxième électrode (143). 一次電子線が照射されることにより試料から放出される二次電子が衝突するよう配置される電子変換電極（１４１）と、互いに対向して配置され、電子が透過可能な第１の電極（１４２）及び第２の電極（１４３）と、第２の電極（１４３）を挟んで第１の電極（１４２）と対向して配置される第３の電極（１４４）とを備えた偏向器（１１４）を有し、電子変換電極（１４１）は、複数の分割電極に分割されており、第３の電極（１４４）の電位は、第２の電極（１４３）の電位に対して正の電位差とされている。