REPLACEMENT SIGNALING SEAL

REPLACEMENT SIGNALING SEAL

A seal for a substrate processing system includes a body comprised of a base material, an outer surface, and a marker material disposed at least one of throughout the base material within the body of the seal, in an outer edge region of the seal, in a coating disposed on the outer surface of the sea...

Ausführliche Beschreibung

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Hauptverfasser: TUCKER, Jeremy, HAUSMANN, Dennis, LEESER, Karl Frederick
Format: Patent
Sprache:eng ; fre
Schlagworte:
BASIC ELECTRIC ELEMENTS
ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
ELECTRICITY
SEMICONDUCTOR DEVICES
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creator TUCKER, Jeremy
HAUSMANN, Dennis
LEESER, Karl Frederick
description A seal for a substrate processing system includes a body comprised of a base material, an outer surface, and a marker material disposed at least one of throughout the base material within the body of the seal, in an outer edge region of the seal, in a coating disposed on the outer surface of the seal, and in an interior region of the seal. The marker material is different from the base material. La présente invention concerne un joint d'étanchéité pour un système de traitement de substrat, lequel joint d'étanchéité comprend un corps constitué d'un matériau de base, d'une surface externe et d'un matériau de marquage disposé à travers le matériau de base à l'intérieur du corps du joint d'étanchéité, dans une région de bord externe du joint d'étanchéité, dans un revêtement disposé sur la surface externe du joint d'étanchéité, et/ou dans une région intérieure du joint d'étanchéité. Le matériau de marquage est différent du matériau de base.
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The marker material is different from the base material. La présente invention concerne un joint d'étanchéité pour un système de traitement de substrat, lequel joint d'étanchéité comprend un corps constitué d'un matériau de base, d'une surface externe et d'un matériau de marquage disposé à travers le matériau de base à l'intérieur du corps du joint d'étanchéité, dans une région de bord externe du joint d'étanchéité, dans un revêtement disposé sur la surface externe du joint d'étanchéité, et/ou dans une région intérieure du joint d'étanchéité. 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The marker material is different from the base material. La présente invention concerne un joint d'étanchéité pour un système de traitement de substrat, lequel joint d'étanchéité comprend un corps constitué d'un matériau de base, d'une surface externe et d'un matériau de marquage disposé à travers le matériau de base à l'intérieur du corps du joint d'étanchéité, dans une région de bord externe du joint d'étanchéité, dans un revêtement disposé sur la surface externe du joint d'étanchéité, et/ou dans une région intérieure du joint d'étanchéité. 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