WAFER FRAME CARRIER

Exemplary semiconductor substrate carrier frames may include a frame body defining a central aperture. The frames may include a plurality of fingers that are coupled with the frame body. Each of the plurality of fingers may extend into the central aperture. Each of the plurality of fingers may include a substrate receiving interface. At least one of the plurality of fingers may include an actuator that manipulates a respective one of the at least one of the plurality of fingers between a substrate holding position and an open position. Des cadres de support de substrat semi-conducteur donnés à titre d'exemple peuvent comprendre un corps de cadre définissant une ouverture centrale. Les cadres peuvent comprendre une pluralité de doigts qui sont couplés au corps de cadre. Chaque doigt de la pluralité de doigts peut s'étendre dans l'ouverture centrale. Chaque doigt de la pluralité de doigts peut comprendre une interface de réception de substrat. Au moins un doigt de la pluralité de doigts peut comprendre un actionneur qui manipule un doigt respectif de la pluralité de doigts entre une position de maintien de substrat et une position ouverte.