CONNECTING COMPONENTS OF AN OPTICAL DEVICE

Die vorliegende Erfindung betrifft eine optische Anordnung für die Mikrolithographie, insbesondere für die Verwendung von Licht im extremen UV-Bereich (EUV), mit einer optischen Elementeinheit (109), insbesondere einer Facettenelementeinheit, einer Stützeinrichtung (110) und einer Deformationseinrichtung (111). Die optische Elementeinheit (109) weist ein optisches Element (109.1) mit einer optischen Fläche (109.2) auf. Die Stützeinrichtung (110) ist dazu ausgebildet, die optische Elementeinheit (109) an einer Stützstruktur (112) derart abzustützen, dass die optische Elementeinheit (109) bezüglich der Stützstruktur (112) in einem Lagestellvorgang in wenigstens einem Freiheitsgrad, insbesondere einem rotatorischen Freiheitsgrad, aus einer Ausgangslage verstellbar ist. Die Deformationseinrichtung (111) ist dazu ausgebildet, die optische Fläche (109.2) zu deformieren, wobei die Deformationseinrichtung (111) einen ersten Anbindungsbereich (111.1) und einen zweiten Anbindungsbereich (111.2) aufweist und einen Deformationskraftfluss von dem ersten Anbindungsbereich (111.1) zu dem zweiten Anbindungsbereich (111.2) definiert. Der erste Anbindungsbereich (111.1) ist an einem Antriebsende der Deformationseinrichtung (111) angeordnet und dazu ausgebildet, an einem ersten Anbindungspunkt (111.5) mit der Stützeinrichtung (110) oder der Stützstruktur (112) verbunden zu sein. Der zweite Anbindungsbereich (111.2) ist an einem Abtriebsende der Deformationseinrichtung (111) angeordnet und an einem zweiten Anbindungspunkt (111.6) mit der optischen Elementeinheit (109) verbunden. Die Deformationseinrichtung (111) weist einen dritten Anbindungsbereich (111.3) auf, in Richtung des Deformationskraftflusses zwischen dem ersten Anbindungsbereich (111.1) und dem zweiten Anbindungsbereich (111.2) angeordnet ist. Der dritte Anbindungsbereich (111.3) ist an einem dritten Anbindungspunkt (111.8) mit der optischen Elementeinheit (109) oder der Stützeinrichtung (110) verbunden, wobei der dritte Anbindungspunkt (111.8) derart angeordnet ist, dass der dritte Anbindungspunkt (111.8) während des Lagestellvorgangs eine erste Relativbewegung zu dem ersten Anbindungspunkt (111.5) erfährt. Die Deformationseinrichtung (111) ist eine, insbesondere passive, Getriebeeinrichtung, die dazu ausgebildet ist, während des Lagestellvorgangs die erste Relativbewegung in eine zweite Relativbewegung zwischen dem zweiten Anbindungspunkt (111.6) und dem dritten Anbindungspunkt (111.8) umzusetzen, wobei während d