ELASTIC WAVE DEVICE AND PRODUCTION METHOD FOR ELASTIC WAVE DEVICE

An elastic wave device according to the present invention comprises a support substrate that has a cavity in one principal surface, a piezoelectric layer that is provided on the one principal surface of the support substrate, and a functional electrode that is provided on the piezoelectric layer. The cavity is at a position that coincides with a portion of the functional electrode as seen in plan view along the layering direction of the support substrate and the piezoelectric layer, and an opposing part that forms the cavity in the support substrate and is opposite the functional electrode as seen in plan view along the layering direction is formed from a plurality of dielectric films that have different dielectric constants. La présente invention concerne un dispositif à ondes élastiques qui comprend un substrat de support qui a une cavité dans une surface principale, une couche piézoélectrique qui est disposée sur la surface principale du substrat de support, et une électrode fonctionnelle qui est disposée sur la couche piézoélectrique. La cavité est à une position qui coïncide avec une partie de l'électrode fonctionnelle telle qu'observée dans une vue en plan le long de la direction de stratification du substrat de support et de la couche piézoélectrique, et une partie opposée qui forme la cavité dans le substrat de support et est opposée à l'électrode fonctionnelle telle que vue dans une vue en plan le long de la direction de stratification est formée à partir d'une pluralité de films diélectriques qui ont des constantes diélectriques différentes. 弾性波装置が、一方主面に空洞部を有する支持基板と、支持基板の一方主面上に設けられた圧電体層と、圧電体層に設けられた機能電極とを備える。空洞部が、支持基板および圧電体層の積層方向に沿って見た平面視で機能電極の一部と重なる位置にあり、支持基板において空洞部を構成し積層方向に沿って見た平面視で機能電極に対向する対向部が、誘電率の異なる複数の誘電体膜で構成されている。