SYSTEM AND METHOD FOR DETERMINING A SIZE OF A DEFECT IN A COMPONENT

Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Ermittlung einer Größe eines Defekts in einem Prüfobjekt anhand eines SAFT-Verfahrens. In einer Inspektionsmessung INSPM wird SAFT-basiert mit einem Prüfkopf eine Vielzahl von A-Bildern in unterschiedlichen tatsächlichen Posen des Prüfkopfes aufgenommen. In einer Gesamtreferenzmessung wird an einem dem Prüfobjekt entsprechenden Testobjekt, welches eine Vielzahl von Defekten DEFj mit bekannten Parametern aufweist, SAFT-basiert für jeden der künstlichen Defekte DEFj in einer jeweiligen Referenzmessung eine Vielzahl von A-Bildern in unterschiedlichen tatsächlichen Posen des Prüfkopfes aufgenommen. Basierend auf einer SAFT-Analyse einer Auswahl von A-Bildern der Referenzmessungen und anhand der bekannten Parameter der Defekte DEFj wird eine Bewertungsdatenbank BEW erstellt. Basierend auf einer SAFT-Analyse einer Auswahl von A-Bildern der Inspektionsmessung werden Amplitudensummen für die Raumelemente des Prüfbereiches im Prüfobjekt ermittelt. Die Amplitudensummen der Raumelemente werden anhand der Bewertungsdatenbank BEW in die zu ermittelnde Größe des Defekts umgerechnet. The invention relates to a method and a device for determining a size of a defect in an object to be inspected on the basis of a SAFT method. In an inspection measurement INSPM, in a SAFT-based manner, a probe head records a plurality of A-scan images in different actual poses of the probe head. In an overall reference measurement, on a test object corresponding to the object to be inspected and having a plurality of defects DEFj with known parameters, in a SAFT-based manner, a plurality of A-scan images in different actual poses of the probe head are recorded for each of the artificial defects DEFj in a respective reference measurement. On the basis of a SAFT analysis of a selection of A-scan images of the reference measurements and on the basis of the known parameters of the defects DEFj, an assessment database BEW is created. On the basis of a SAFT analysis of a selection of A-scan images of the inspection measurement, amplitude sums for the spatial elements of the region to be inspected in the object to be inspected are determined. On the basis of the assessment database BEW, the amplitude sums of the spatial elements are converted into the size of the defect to be determined. L'invention concerne un procédé et un dispositif permettant de déterminer une taille d'un défaut dans un objet à inspecter sur la base d'un procédé SAFT