DEEP ULTRAVIOLET LASER USING STRONTIUM TETRABORATE FOR FREQUENCY CONVERSION

A nonlinear crystal 300 including stacked strontium tetraborate SrB4O7 (SBO) crystal plates 335-1/2/3/4 that are cooperatively configured to create a periodic structure for quasi-phase-matching (QPM) is used in the final frequency doubling stage 230A,B of a laser assembly 200A,B to generate laser output light 239A,B having a wavelength in the range of about 180 nm to 200 nm. One or more fundamental laser beams 211A,B are frequency doubled, down-converted and/or summed using one or more frequency conversion stages 220A, 220B-1, 221B, 222B to generate an intermediate frequency light 212A, 214B with a corresponding wavelength in the range of about 360 nm to 400 nm, and then the final frequency converting stage 130 utilizes the nonlinear crystal 300 to double the frequency of the intermediate frequency light 212A, 214B to generate the desired laser output light 239A,B at high power. Methods, inspection systems, lithography systems and cutting systems incorporating the laser assembly are also described. Un cristal non linéaire (300), comprenant des plaques (335-1/2/3/4) de cristaux empilés de tétraborate de strontium SrB4O7 (SBO) conçues de façon coopérative afin de créer une structure périodique pour une correspondance quasi-phase (QPM), est utilisé dans un étage final de doublage de fréquence (230A, B) d'un ensemble laser (200A, B) afin de produire une lumière de sortie laser (239A, B) présentant une longueur d'onde comprise entre environ 180 nm et 200 nm. Un ou plusieurs faisceaux laser fondamentaux (211A, B) sont doublés en fréquence, abaissés en fréquence et/ou additionnés à l'aide d'un ou plusieurs étages de conversion de fréquence (220A, 220B-1, 221B, 222B), afin de produire une lumière à fréquence intermédiaire (212A, 214B) présentant une longueur d'onde correspondante comprise entre environ 360 nm et 400 nm, et ensuite l'étage final de conversion de fréquence (130) utilise le cristal non linéaire (300) pour doubler la fréquence de la lumière à fréquence intermédiaire (212A, 214B) afin de produire la lumière de sortie laser souhaitée (239A, B) à puissance élevée. Des procédés, des systèmes d'inspection, des systèmes de lithographie et des systèmes de découpe, comportant l'ensemble laser, sont également décrits.