ELECTRODE ASSEMBLY FOR A PLASMA DISCHARGE
Die Erfindung betrifft eine Elektrodenanordnung zur Ausbildung einer dielektrisch behinderten Plasmaentladung zwischen mindestens einer Elektrode und einer als Masseelektrode dienenden, zu behandelnden Oberfläche eines elektrisch leitfähigen Körpers, mit einem die Elektrode zur zu behandelnden Oberf...
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Hauptverfasser: | , |
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Format: | Patent |
Sprache: | eng ; fre ; ger |
Schlagworte: | |
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