AXISYMMETRIC HEATING ASSEMBLY LAYOUT WITH DOUBLE ENDED LAMP
Apparatus for heating a substrate within a substrate processing chamber are described herein. More specifically, possible lamp modules for use within a substrate processing chamber are described. The lamp modules include a reflector body. The reflector body is a reflective material. The reflector bo...
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| Format: | Patent |
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| creator | NAKAGAWA, Toshiyuki NELLIKKA, Shainish CHOO, Enle DUBE, Abhishek LAU, Shu-Kwan WANG, Danny Don YE, Zhiyuan |
| description | Apparatus for heating a substrate within a substrate processing chamber are described herein. More specifically, possible lamp modules for use within a substrate processing chamber are described. The lamp modules include a reflector body. The reflector body is a reflective material. The reflector body includes grooves disposed in a surface and configured to direct radiant energy towards a substrate. Each ring includes multiple grooves with different cross sections to allow radiant energy to be directed at different radial positions on the substrate from the same ring. The grooves may be either curved or linear grooves.
Un appareil pour chauffer un substrat dans une chambre de traitement de substrat est décrit dans la présente invention. Plus précisément, des modules de lampe possibles destinés à être utilisés dans une chambre de traitement de substrat sont décrits. Les modules de lampe comprennent un corps de réflecteur. Le corps de réflecteur est un matériau réfléchissant. Le corps de réflecteur comprend des rainures disposées dans une surface et configurées pour diriger une énergie rayonnante vers un substrat. Chaque anneau comprend de multiples rainures comprenant des sections transversales différentes pour permettre à une énergie rayonnante d'être dirigée à différentes positions radiales sur le substrat à partir du même anneau. Les rainures peuvent être des rainures incurvées ou linéaires. |
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Un appareil pour chauffer un substrat dans une chambre de traitement de substrat est décrit dans la présente invention. Plus précisément, des modules de lampe possibles destinés à être utilisés dans une chambre de traitement de substrat sont décrits. Les modules de lampe comprennent un corps de réflecteur. Le corps de réflecteur est un matériau réfléchissant. Le corps de réflecteur comprend des rainures disposées dans une surface et configurées pour diriger une énergie rayonnante vers un substrat. Chaque anneau comprend de multiples rainures comprenant des sections transversales différentes pour permettre à une énergie rayonnante d'être dirigée à différentes positions radiales sur le substrat à partir du même anneau. Les rainures peuvent être des rainures incurvées ou linéaires.</description><language>eng ; fre</language><subject>AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUSPOLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE ; APPARATUS THEREFOR ; BASIC ELECTRIC ELEMENTS ; CHEMISTRY ; CRYSTAL GROWTH ; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ; ELECTRICITY ; METALLURGY ; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITHDEFINED STRUCTURE ; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL ; SEMICONDUCTOR DEVICES ; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITHDEFINED STRUCTURE ; SINGLE-CRYSTAL-GROWTH ; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL ORUNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL</subject><creationdate>2022</creationdate><oa>free_for_read</oa><woscitedreferencessubscribed>false</woscitedreferencessubscribed></display><links><openurl>$$Topenurl_article</openurl><openurlfulltext>$$Topenurlfull_article</openurlfulltext><thumbnail>$$Tsyndetics_thumb_exl</thumbnail><linktohtml>$$Uhttps://worldwide.espacenet.com/publicationDetails/biblio?FT=D&date=20221215&DB=EPODOC&CC=WO&NR=2022260762A1$$EHTML$$P50$$Gepo$$Hfree_for_read</linktohtml><link.rule.ids>230,308,780,885,25555,76308</link.rule.ids><linktorsrc>$$Uhttps://worldwide.espacenet.com/publicationDetails/biblio?FT=D&date=20221215&DB=EPODOC&CC=WO&NR=2022260762A1$$EView_record_in_European_Patent_Office$$FView_record_in_$$GEuropean_Patent_Office$$Hfree_for_read</linktorsrc></links><search><creatorcontrib>NAKAGAWA, Toshiyuki</creatorcontrib><creatorcontrib>NELLIKKA, Shainish</creatorcontrib><creatorcontrib>CHOO, Enle</creatorcontrib><creatorcontrib>DUBE, Abhishek</creatorcontrib><creatorcontrib>LAU, Shu-Kwan</creatorcontrib><creatorcontrib>WANG, Danny Don</creatorcontrib><creatorcontrib>YE, Zhiyuan</creatorcontrib><title>AXISYMMETRIC HEATING ASSEMBLY LAYOUT WITH DOUBLE ENDED LAMP</title><description>Apparatus for heating a substrate within a substrate processing chamber are described herein. More specifically, possible lamp modules for use within a substrate processing chamber are described. The lamp modules include a reflector body. The reflector body is a reflective material. The reflector body includes grooves disposed in a surface and configured to direct radiant energy towards a substrate. Each ring includes multiple grooves with different cross sections to allow radiant energy to be directed at different radial positions on the substrate from the same ring. The grooves may be either curved or linear grooves.
Un appareil pour chauffer un substrat dans une chambre de traitement de substrat est décrit dans la présente invention. Plus précisément, des modules de lampe possibles destinés à être utilisés dans une chambre de traitement de substrat sont décrits. Les modules de lampe comprennent un corps de réflecteur. Le corps de réflecteur est un matériau réfléchissant. Le corps de réflecteur comprend des rainures disposées dans une surface et configurées pour diriger une énergie rayonnante vers un substrat. Chaque anneau comprend de multiples rainures comprenant des sections transversales différentes pour permettre à une énergie rayonnante d'être dirigée à différentes positions radiales sur le substrat à partir du même anneau. 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Un appareil pour chauffer un substrat dans une chambre de traitement de substrat est décrit dans la présente invention. Plus précisément, des modules de lampe possibles destinés à être utilisés dans une chambre de traitement de substrat sont décrits. Les modules de lampe comprennent un corps de réflecteur. Le corps de réflecteur est un matériau réfléchissant. Le corps de réflecteur comprend des rainures disposées dans une surface et configurées pour diriger une énergie rayonnante vers un substrat. Chaque anneau comprend de multiples rainures comprenant des sections transversales différentes pour permettre à une énergie rayonnante d'être dirigée à différentes positions radiales sur le substrat à partir du même anneau. Les rainures peuvent être des rainures incurvées ou linéaires.</abstract><oa>free_for_read</oa></addata></record> |
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