IN SITU FILM GROWTH SENSOR ASSEMBLY, APPARATUS, AND METHODS

Embodiments disclosed herein generally relate to in situ monitoring of film growth in processing chambers, In some examples, a sensor assembly for a processing chamber includes a sensor tube including silicon carbide and having an optical path therein and a sensor window including crystalline silico...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	MORADIAN, Ala, CHOO, Enle, LUAN, Xinning, CONG, Zhepeng, SHENG, Tao
Format:	Patent
Sprache:	eng ; fre
Schlagworte:	AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUSPOLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE APPARATUS THEREFOR BASIC ELECTRIC ELEMENTS CHEMISTRY CRYSTAL GROWTH ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ELECTRICITY MEASURING MEASURING ANGLES MEASURING AREAS MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEARDIMENSIONS METALLURGY PHYSICS PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITHDEFINED STRUCTURE REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL SEMICONDUCTOR DEVICES SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITHDEFINED STRUCTURE SINGLE-CRYSTAL-GROWTH TESTING UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL ORUNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL
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Beschreibung
Zusammenfassung:	Embodiments disclosed herein generally relate to in situ monitoring of film growth in processing chambers, In some examples, a sensor assembly for a processing chamber includes a sensor tube including silicon carbide and having an optical path therein and a sensor window including crystalline silicon carbide and having a proximal side coupled to a distal end of the sensor tube. The sensor window covers the optical path, and a distal side of the sensor window facing away from the proximal side is perpendicular to a center axis of the optical path. Des modes de réalisation divulgués ici concernent globalement la surveillance in situ du développement de films dans des chambres de traitement. Selon certains exemples, un ensemble détecteur destiné à une chambre de traitement comprend : un tube détecteur, comprenant du carbure de silicium et comportant un chemin optique; et une fenêtre détectrice, comprenant du carbure de silicium cristallin et dont un côté proximal est accouplé à une extrémité distale du tube détecteur. La fenêtre détectrice recouvre le chemin optique et un côté distal de la fenêtre détectrice à face opposée au côté proximal est perpendiculaire à un axe central du chemin optique.