CLAMP ELECTRODE MODIFICATION FOR IMPROVED OVERLAY

Systems, apparatuses, and methods are provided for manufacturing an electrostatic clamp. An example method can include forming a dielectric layer that includes a plurality of burls for supporting an object. The example method can further include forming an electrostatic layer that includes one or more electrodes. The example method can further include generating, using the electrostatic layer, an electrostatic force to electrostatically clamp the object to the plurality of burls in response to an application of one or more voltages to the one or more electrodes. In some aspects, a first magnitude of the electrostatic force in a first region of the dielectric layer can be different than a second magnitude of the electrostatic force in a second region of the dielectric layer. For example, the first magnitude and the second magnitude can be part of a linear, non-linear, or stepped (e.g., multi-level) electrostatic force gradient. L'invention concerne des systèmes, des appareils et des procédés pour fabriquer une pince électrostatique. Un procédé donné à titre d'exemple peut consister à former une couche diélectrique qui comprend une pluralité de bosses pour porter un objet. Le procédé donné à titre d'exemple peut en outre consister à former une couche électrostatique qui comprend une ou plusieurs électrodes. Le procédé donné à titre d'exemple peut en outre consister à générer, à l'aide de la couche électrostatique, une force électrostatique pour pincer de manière électrostatique l'objet sur la pluralité de bosses en réponse à une application d'une ou de plusieurs tensions sur la ou les électrodes. Selon certains aspects, une première grandeur de la force électrostatique dans une première région de la couche diélectrique peut être différente d'une seconde grandeur de la force électrostatique dans une seconde région de la couche diélectrique. Par exemple, la première amplitude et la seconde amplitude peuvent faire partie d'un gradient de force électrostatique linéaire, non linéaire ou étagé (par exemple, à plusieurs niveaux).