METHOD OF USING SENSOR-BASED MACHINE LEARNING TO COMPENSATE ERROR IN MASS METROLOGY

Computer-implemented methods and systems of determining systematic error in a mass measurement of a substrate are disclosed. The methods involve providing sensor readings to a machine learning model as inputs and receiving as an output a value for systematic error and/or a corrected mass measurement. The machine learning model may be continuously checked during production and retrained or replaced based on data collected during production. L'invention concerne des procédés et des systèmes mis en oeuvre par ordinateur pour déterminer une erreur systématique dans une mesure de masse d'un substrat. Les procédés consistent à fournir des lectures de capteur à un modèle d'apprentissage automatique en tant qu'entrées et à recevoir en tant que sortie une valeur pour une erreur systématique et/ou une mesure de masse corrigée. Le modèle d'apprentissage automatique peut être vérifié en continu pendant la production et réentraîné ou remplacé sur la base de données collectées pendant la production.