POWER SUPPLY APPARATUS, SYSTEM, EXPOSURE APPARATUS, AND ARTICLE PRODUCTION METHOD

A power supply apparatus according to the present invention has a plurality of power supply terminals for supplying power to a plurality of units. The units each include: a power reception unit that receives power supply from any of the plurality of power supply terminals; a device that, without receiving power supply to the power reception unit, provides control information, including information related to the electricity consumption of the respective unit, to the power supply apparatus. The power supply apparatus comprises: a plurality of power sources; and a control unit that, in a state in which power is not supplied to the plurality of units via the plurality of power supply terminals, acquires the control information from the respective devices of the plurality of units, and that, on the basis of the control information, selects, from the plurality of power sources, a power source for supplying power via any of the plurality of power supply terminals to at least one of the plurality of units. Un appareil d'alimentation électrique selon la présente invention comprend une pluralité de bornes d'alimentation électrique pour alimenter une pluralité d'unités. Les unités comprennent chacune : une unité de réception d'énergie qui reçoit une alimentation électrique de l'une quelconque de la pluralité de bornes d'alimentation électrique ; un dispositif qui, sans recevoir l'alimentation électrique de l'unité de réception d'énergie, fournit, à l'appareil d'alimentation électrique, des informations de commande comprenant des informations relatives à la consommation d'électricité de l'unité respective. L'appareil d'alimentation électrique comprend : une pluralité de sources d'alimentation ; et une unité de commande qui, dans un état dans lequel de l'énergie n'est pas fournie à la pluralité d'unités par l'intermédiaire de la pluralité de bornes d'alimentation électrique, acquiert les informations de commande à partir des dispositifs respectifs de la pluralité d'unités, et qui, sur la base des informations de commande, sélectionne, parmi la pluralité de sources d'énergie, une source d'alimentation pour fournir de l'énergie à au moins l'une des unités de la pluralité d'unités par l'intermédiaire de l'une quelconque de la pluralité de bornes d'alimentation électrique. 電力供給装置は、複数のユニットに対して電力を供給するための複数の電力供給端子を有する。各ユニットは、前記複数の電力供給端子のいずれかから電力の供給を受ける受電部と、前記受電部に対して電力の供給を受けることなく、当該ユニットの消費電力に関する情報を含む制御情報を前記電力供給装置に提供するデバイスとを含む。前記電力供給装置は、複数の電源と、前記複数の電力供給端子を通して前記複数のユニットに電力が供給されて