DEVICE AND METHOD FOR SEGMENTED PARALLEL DISPENSING
Vorgeschlagen wird eine Vorrichtung (1) zum Paralleldispensen eines Druckmediums (10) auf ein Substrat, insbesondere zur Herstellung einer oder mehrerer Leiterbahnen auf einem Halbleitersubstrat, mit einer Druckeinheit (6), welche eine Mehrzahl von Dispenserdüsen zur gleichzeitigen Ausgabe des Druck...
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Format: | Patent |
Sprache: | eng ; fre ; ger |
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