DEVICE AND METHOD FOR SEGMENTED PARALLEL DISPENSING

Vorgeschlagen wird eine Vorrichtung (1) zum Paralleldispensen eines Druckmediums (10) auf ein Substrat, insbesondere zur Herstellung einer oder mehrerer Leiterbahnen auf einem Halbleitersubstrat, mit einer Druckeinheit (6), welche eine Mehrzahl von Dispenserdüsen zur gleichzeitigen Ausgabe des Druck...

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	CLEMENT, Florian, POSPISCHIL, Maximilian, BREITENBÜCHER, Marian, RIEBE, Tim, KUCHLER, Martin, TEPNER, Sebastian
Format:	Patent
Sprache:	eng ; fre ; ger
Schlagworte:	CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME LINING MACHINES PERFORMING OPERATIONS PRINTING SELECTIVE PRINTING MECHANISMS STAMPS TRANSPORTING TYPEWRITERS
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creator	CLEMENT, Florian POSPISCHIL, Maximilian BREITENBÜCHER, Marian RIEBE, Tim KUCHLER, Martin TEPNER, Sebastian
description	Vorgeschlagen wird eine Vorrichtung (1) zum Paralleldispensen eines Druckmediums (10) auf ein Substrat, insbesondere zur Herstellung einer oder mehrerer Leiterbahnen auf einem Halbleitersubstrat, mit einer Druckeinheit (6), welche eine Mehrzahl von Dispenserdüsen zur gleichzeitigen Ausgabe des Druckmediums (10) umfasst, und einem Antriebsmittel (5), welches dazu ausgestaltet ist, eine Relativbewegung zwischen der Druckeinheit (6) und dem Substrat (4) in einer Bewegungsrichtung (7) zu erzeugen, wobei zumindest eine erste Dispenserdüse und eine zweite Dispenserdüse quer zur Bewegungsrichtung (7) voneinander beabstandet angeordnet sind. Die erste Dispenserdüse und eine dritte Dispenserdüse sind entlang einer gemeinsamen ersten Längsachse in einem ersten Düsenabstand voneinander beabstandet angeordnet, wobei die erste Längsachse parallel zu der Bewegungsrichtung (7) verläuft. A device (1) for the parallel dispensing of a pressure medium (10) onto a substrate, in particular for producing one or more conductor tracks on a semiconductor substrate, is proposed, having a printing unit (6), which comprises a plurality of dispenser nozzles for the simultaneous output of the pressure medium (10), and a drive means (5), which is designed to produce a relative movement between the printing unit (6) and the substrate (4) in a direction of movement (7), wherein at least a first dispenser nozzle and a second dispenser nozzle are are mutually spaced apart transversely to the direction of movement (7). The first dispenser nozzle and a third dispenser nozzle are arranged at a first nozzle spacing from one another along a common first longitudinal axis, the first longitudinal axis running parallel to the direction of movement (7). La présente invention concerne un dispositif (1) pour la distribution parallèle d'un milieu sous pression (10) sur un substrat, en particulier pour produire une ou plusieurs pistes conductrices sur un substrat semi-conducteur, ledit dispositif comprenant une unité d'impression (6), qui comprend une pluralité de buses de distribution pour la sortie simultanée du milieu sous pression (10), et un moyen d'entraînement (5), qui est conçu pour produire un mouvement relatif entre l'unité d'impression (6) et le substrat (4) dans une direction de déplacement (7), au moins une première buse de distribution et une deuxième buse de distribution étant espacées l'une de l'autre de manière transversale à la direction de déplacement (7). La première buse de distribu
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Die erste Dispenserdüse und eine dritte Dispenserdüse sind entlang einer gemeinsamen ersten Längsachse in einem ersten Düsenabstand voneinander beabstandet angeordnet, wobei die erste Längsachse parallel zu der Bewegungsrichtung (7) verläuft. A device (1) for the parallel dispensing of a pressure medium (10) onto a substrate, in particular for producing one or more conductor tracks on a semiconductor substrate, is proposed, having a printing unit (6), which comprises a plurality of dispenser nozzles for the simultaneous output of the pressure medium (10), and a drive means (5), which is designed to produce a relative movement between the printing unit (6) and the substrate (4) in a direction of movement (7), wherein at least a first dispenser nozzle and a second dispenser nozzle are are mutually spaced apart transversely to the direction of movement (7). The first dispenser nozzle and a third dispenser nozzle are arranged at a first nozzle spacing from one another along a common first longitudinal axis, the first longitudinal axis running parallel to the direction of movement (7). La présente invention concerne un dispositif (1) pour la distribution parallèle d'un milieu sous pression (10) sur un substrat, en particulier pour produire une ou plusieurs pistes conductrices sur un substrat semi-conducteur, ledit dispositif comprenant une unité d'impression (6), qui comprend une pluralité de buses de distribution pour la sortie simultanée du milieu sous pression (10), et un moyen d'entraînement (5), qui est conçu pour produire un mouvement relatif entre l'unité d'impression (6) et le substrat (4) dans une direction de déplacement (7), au moins une première buse de distribution et une deuxième buse de distribution étant espacées l'une de l'autre de manière transversale à la direction de déplacement (7). La première buse de distribution et une troisième buse de distribution sont disposées selon un premier espacement de buse l'une de l'autre le long d'un premier axe longitudinal commun, le premier axe longitudinal s'étendant parallèlement à la direction de déplacement (7).</description><language>eng ; fre ; ger</language><subject>CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS ; i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME ; LINING MACHINES ; PERFORMING OPERATIONS ; PRINTING ; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS ; STAMPS ; TRANSPORTING ; TYPEWRITERS</subject><creationdate>2022</creationdate><oa>free_for_read</oa><woscitedreferencessubscribed>false</woscitedreferencessubscribed></display><links><openurl>$$Topenurl_article</openurl><openurlfulltext>$$Topenurlfull_article</openurlfulltext><thumbnail>$$Tsyndetics_thumb_exl</thumbnail><linktohtml>$$Uhttps://worldwide.espacenet.com/publicationDetails/biblio?FT=D&date=20220512&DB=EPODOC&CC=WO&NR=2022096372A1$$EHTML$$P50$$Gepo$$Hfree_for_read</linktohtml><link.rule.ids>230,308,780,885,25564,76547</link.rule.ids><linktorsrc>$$Uhttps://worldwide.espacenet.com/publicationDetails/biblio?FT=D&date=20220512&DB=EPODOC&CC=WO&NR=2022096372A1$$EView_record_in_European_Patent_Office$$FView_record_in_$$GEuropean_Patent_Office$$Hfree_for_read</linktorsrc></links><search><creatorcontrib>CLEMENT, Florian</creatorcontrib><creatorcontrib>POSPISCHIL, Maximilian</creatorcontrib><creatorcontrib>BREITENBÜCHER, Marian</creatorcontrib><creatorcontrib>RIEBE, Tim</creatorcontrib><creatorcontrib>KUCHLER, Martin</creatorcontrib><creatorcontrib>TEPNER, Sebastian</creatorcontrib><title>DEVICE AND METHOD FOR SEGMENTED PARALLEL DISPENSING</title><description>Vorgeschlagen wird eine Vorrichtung (1) zum Paralleldispensen eines Druckmediums (10) auf ein Substrat, insbesondere zur Herstellung einer oder mehrerer Leiterbahnen auf einem Halbleitersubstrat, mit einer Druckeinheit (6), welche eine Mehrzahl von Dispenserdüsen zur gleichzeitigen Ausgabe des Druckmediums (10) umfasst, und einem Antriebsmittel (5), welches dazu ausgestaltet ist, eine Relativbewegung zwischen der Druckeinheit (6) und dem Substrat (4) in einer Bewegungsrichtung (7) zu erzeugen, wobei zumindest eine erste Dispenserdüse und eine zweite Dispenserdüse quer zur Bewegungsrichtung (7) voneinander beabstandet angeordnet sind. Die erste Dispenserdüse und eine dritte Dispenserdüse sind entlang einer gemeinsamen ersten Längsachse in einem ersten Düsenabstand voneinander beabstandet angeordnet, wobei die erste Längsachse parallel zu der Bewegungsrichtung (7) verläuft. A device (1) for the parallel dispensing of a pressure medium (10) onto a substrate, in particular for producing one or more conductor tracks on a semiconductor substrate, is proposed, having a printing unit (6), which comprises a plurality of dispenser nozzles for the simultaneous output of the pressure medium (10), and a drive means (5), which is designed to produce a relative movement between the printing unit (6) and the substrate (4) in a direction of movement (7), wherein at least a first dispenser nozzle and a second dispenser nozzle are are mutually spaced apart transversely to the direction of movement (7). The first dispenser nozzle and a third dispenser nozzle are arranged at a first nozzle spacing from one another along a common first longitudinal axis, the first longitudinal axis running parallel to the direction of movement (7). La présente invention concerne un dispositif (1) pour la distribution parallèle d'un milieu sous pression (10) sur un substrat, en particulier pour produire une ou plusieurs pistes conductrices sur un substrat semi-conducteur, ledit dispositif comprenant une unité d'impression (6), qui comprend une pluralité de buses de distribution pour la sortie simultanée du milieu sous pression (10), et un moyen d'entraînement (5), qui est conçu pour produire un mouvement relatif entre l'unité d'impression (6) et le substrat (4) dans une direction de déplacement (7), au moins une première buse de distribution et une deuxième buse de distribution étant espacées l'une de l'autre de manière transversale à la direction de déplacement (7). La première buse de distribution et une troisième buse de distribution sont disposées selon un premier espacement de buse l'une de l'autre le long d'un premier axe longitudinal commun, le premier axe longitudinal s'étendant parallèlement à la direction de déplacement (7).</description><subject>CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS</subject><subject>i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME</subject><subject>LINING MACHINES</subject><subject>PERFORMING OPERATIONS</subject><subject>PRINTING</subject><subject>SELECTIVE PRINTING MECHANISMS</subject><subject>STAMPS</subject><subject>TRANSPORTING</subject><subject>TYPEWRITERS</subject><fulltext>true</fulltext><rsrctype>patent</rsrctype><creationdate>2022</creationdate><recordtype>patent</recordtype><sourceid>EVB</sourceid><recordid>eNrjZDB2cQ3zdHZVcPRzUfB1DfHwd1Fw8w9SCHZ193X1C3F1UQhwDHL08XH1UXDxDA5w9Qv29HPnYWBNS8wpTuWF0twMym6uIc4euqkF-fGpxQWJyal5qSXx4f5GBkZGBpZmxuZGjobGxKkCAB4WJ9Q</recordid><startdate>20220512</startdate><enddate>20220512</enddate><creator>CLEMENT, Florian</creator><creator>POSPISCHIL, Maximilian</creator><creator>BREITENBÜCHER, Marian</creator><creator>RIEBE, Tim</creator><creator>KUCHLER, Martin</creator><creator>TEPNER, Sebastian</creator><scope>EVB</scope></search><sort><creationdate>20220512</creationdate><title>DEVICE AND METHOD FOR SEGMENTED PARALLEL DISPENSING</title><author>CLEMENT, Florian ; POSPISCHIL, Maximilian ; BREITENBÜCHER, Marian ; RIEBE, Tim ; KUCHLER, Martin ; TEPNER, Sebastian</author></sort><facets><frbrtype>5</frbrtype><frbrgroupid>cdi_FETCH-epo_espacenet_WO2022096372A13</frbrgroupid><rsrctype>patents</rsrctype><prefilter>patents</prefilter><language>eng ; fre ; ger</language><creationdate>2022</creationdate><topic>CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS</topic><topic>i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME</topic><topic>LINING MACHINES</topic><topic>PERFORMING OPERATIONS</topic><topic>PRINTING</topic><topic>SELECTIVE PRINTING MECHANISMS</topic><topic>STAMPS</topic><topic>TRANSPORTING</topic><topic>TYPEWRITERS</topic><toplevel>online_resources</toplevel><creatorcontrib>CLEMENT, Florian</creatorcontrib><creatorcontrib>POSPISCHIL, Maximilian</creatorcontrib><creatorcontrib>BREITENBÜCHER, Marian</creatorcontrib><creatorcontrib>RIEBE, Tim</creatorcontrib><creatorcontrib>KUCHLER, Martin</creatorcontrib><creatorcontrib>TEPNER, Sebastian</creatorcontrib><collection>esp@cenet</collection></facets><delivery><delcategory>Remote Search Resource</delcategory><fulltext>fulltext_linktorsrc</fulltext></delivery><addata><au>CLEMENT, Florian</au><au>POSPISCHIL, Maximilian</au><au>BREITENBÜCHER, Marian</au><au>RIEBE, Tim</au><au>KUCHLER, Martin</au><au>TEPNER, Sebastian</au><format>patent</format><genre>patent</genre><ristype>GEN</ristype><title>DEVICE AND METHOD FOR SEGMENTED PARALLEL DISPENSING</title><date>2022-05-12</date><risdate>2022</risdate><abstract>Vorgeschlagen wird eine Vorrichtung (1) zum Paralleldispensen eines Druckmediums (10) auf ein Substrat, insbesondere zur Herstellung einer oder mehrerer Leiterbahnen auf einem Halbleitersubstrat, mit einer Druckeinheit (6), welche eine Mehrzahl von Dispenserdüsen zur gleichzeitigen Ausgabe des Druckmediums (10) umfasst, und einem Antriebsmittel (5), welches dazu ausgestaltet ist, eine Relativbewegung zwischen der Druckeinheit (6) und dem Substrat (4) in einer Bewegungsrichtung (7) zu erzeugen, wobei zumindest eine erste Dispenserdüse und eine zweite Dispenserdüse quer zur Bewegungsrichtung (7) voneinander beabstandet angeordnet sind. Die erste Dispenserdüse und eine dritte Dispenserdüse sind entlang einer gemeinsamen ersten Längsachse in einem ersten Düsenabstand voneinander beabstandet angeordnet, wobei die erste Längsachse parallel zu der Bewegungsrichtung (7) verläuft. A device (1) for the parallel dispensing of a pressure medium (10) onto a substrate, in particular for producing one or more conductor tracks on a semiconductor substrate, is proposed, having a printing unit (6), which comprises a plurality of dispenser nozzles for the simultaneous output of the pressure medium (10), and a drive means (5), which is designed to produce a relative movement between the printing unit (6) and the substrate (4) in a direction of movement (7), wherein at least a first dispenser nozzle and a second dispenser nozzle are are mutually spaced apart transversely to the direction of movement (7). The first dispenser nozzle and a third dispenser nozzle are arranged at a first nozzle spacing from one another along a common first longitudinal axis, the first longitudinal axis running parallel to the direction of movement (7). La présente invention concerne un dispositif (1) pour la distribution parallèle d'un milieu sous pression (10) sur un substrat, en particulier pour produire une ou plusieurs pistes conductrices sur un substrat semi-conducteur, ledit dispositif comprenant une unité d'impression (6), qui comprend une pluralité de buses de distribution pour la sortie simultanée du milieu sous pression (10), et un moyen d'entraînement (5), qui est conçu pour produire un mouvement relatif entre l'unité d'impression (6) et le substrat (4) dans une direction de déplacement (7), au moins une première buse de distribution et une deuxième buse de distribution étant espacées l'une de l'autre de manière transversale à la direction de déplacement (7). La première buse de distribution et une troisième buse de distribution sont disposées selon un premier espacement de buse l'une de l'autre le long d'un premier axe longitudinal commun, le premier axe longitudinal s'étendant parallèlement à la direction de déplacement (7).</abstract><oa>free_for_read</oa></addata></record>
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