PRESSED SILICON CARBIDE (SIC) MULTILAYER FLUIDIC MODULES

A silicon carbide flow reactor fluidic module comprises a monolithic closed-porosity silicon carbide body and a tortuous fluid passage extending through the silicon carbide body, the tortuous fluid passage lying within two or more layers with the silicon carbide body, the tortuous passage having an interior surface, the interior surface having a surface roughness of less than 10 µm Ra. A method of forming the fluidic module is also disclosed. Un module fluidique de réacteur à écoulement en carbure de silicium comprend un corps monolithique en carbure de silicium à pores fermés et un passage fluidique tortueux s'étendant à travers le corps en carbure de silicium, le passage fluidique tortueux se trouvant à l'intérieur de deux couches ou plus avec le corps en carbure de silicium, le passage tortueux ayant une surface intérieure, la surface intérieure ayant une rugosité de surface inférieure à 10 µm Ra. L'invention concerne également un procédé de formation du module fluidique.