METHOD FOR CONTROLLING A MANUFACTURING PROCESS AND ASSOCIATED APPARATUSES
Disclosed is a method of determining a process window within a process space comprising obtaining (610) contour data (615) relating to features to be provided to a substrate (625) across a plurality of layers, for each of a plurality of process conditions (600) associated with providing the features...
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|---|---|
| Format: | Patent |
| Sprache: | eng ; fre |
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| creator | THEEUWES, Thomas JUNG, Sun Wook CORRADI, Antonio HSU, Duan-Fu NIKOLSKI, Pioter |
| description | Disclosed is a method of determining a process window within a process space comprising obtaining (610) contour data (615) relating to features to be provided to a substrate (625) across a plurality of layers, for each of a plurality of process conditions (600) associated with providing the features across said plurality of layers and failure mode data (650) describing constraints on the contour data across the plurality of layers. The failure mode data is applied to the contour data to determine (640) a failure count for each process condition; and the process window is determined (655) by associating each process condition to its corresponding failure count. Also disclosed is a method of determining an actuation constrained subspace of the process window based on actuation constraints imposed by the plurality of actuators.
L'invention concerne un procédé de détermination d'une fenêtre de traitement dans un espace de traitement consistant à obtenir (610) de données de contour (615) se rapportant à des caractéristiques devant être fournies à un substrat (625) à travers une pluralité de couches, pour chacune d'une pluralité de conditions de traitement (600) associées à la fourniture des caractéristiques à travers ladite pluralité de couches et des données de mode de défaillance (650) décrivant des contraintes sur les données de contour à travers la pluralité de couches. Les données de mode de défaillance sont appliquées aux données de contour pour déterminer (640) un nombre de défaillances pour chaque condition de traitement ; et la fenêtre de traitement est déterminée (655) par l'association de chaque condition de traitement à son nombre de défaillances correspondant. L'invention concerne également un procédé de détermination d'un sous-espace contraint en actionnement de la fenêtre de traitement sur la base de contraintes d'actionnement imposées par la pluralité d'actionneurs. |
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L'invention concerne un procédé de détermination d'une fenêtre de traitement dans un espace de traitement consistant à obtenir (610) de données de contour (615) se rapportant à des caractéristiques devant être fournies à un substrat (625) à travers une pluralité de couches, pour chacune d'une pluralité de conditions de traitement (600) associées à la fourniture des caractéristiques à travers ladite pluralité de couches et des données de mode de défaillance (650) décrivant des contraintes sur les données de contour à travers la pluralité de couches. Les données de mode de défaillance sont appliquées aux données de contour pour déterminer (640) un nombre de défaillances pour chaque condition de traitement ; et la fenêtre de traitement est déterminée (655) par l'association de chaque condition de traitement à son nombre de défaillances correspondant. L'invention concerne également un procédé de détermination d'un sous-espace contraint en actionnement de la fenêtre de traitement sur la base de contraintes d'actionnement imposées par la pluralité d'actionneurs.</description><language>eng ; fre</language><subject>APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR ; CINEMATOGRAPHY ; ELECTROGRAPHY ; HOLOGRAPHY ; MATERIALS THEREFOR ; ORIGINALS THEREFOR ; PHOTOGRAPHY ; PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES,e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTORDEVICES ; PHYSICS</subject><creationdate>2022</creationdate><oa>free_for_read</oa><woscitedreferencessubscribed>false</woscitedreferencessubscribed></display><links><openurl>$$Topenurl_article</openurl><openurlfulltext>$$Topenurlfull_article</openurlfulltext><thumbnail>$$Tsyndetics_thumb_exl</thumbnail><linktohtml>$$Uhttps://worldwide.espacenet.com/publicationDetails/biblio?FT=D&date=20220127&DB=EPODOC&CC=WO&NR=2022017705A1$$EHTML$$P50$$Gepo$$Hfree_for_read</linktohtml><link.rule.ids>230,308,780,885,25564,76547</link.rule.ids><linktorsrc>$$Uhttps://worldwide.espacenet.com/publicationDetails/biblio?FT=D&date=20220127&DB=EPODOC&CC=WO&NR=2022017705A1$$EView_record_in_European_Patent_Office$$FView_record_in_$$GEuropean_Patent_Office$$Hfree_for_read</linktorsrc></links><search><creatorcontrib>THEEUWES, Thomas</creatorcontrib><creatorcontrib>JUNG, Sun Wook</creatorcontrib><creatorcontrib>CORRADI, Antonio</creatorcontrib><creatorcontrib>HSU, Duan-Fu</creatorcontrib><creatorcontrib>NIKOLSKI, Pioter</creatorcontrib><title>METHOD FOR CONTROLLING A MANUFACTURING PROCESS AND ASSOCIATED APPARATUSES</title><description>Disclosed is a method of determining a process window within a process space comprising obtaining (610) contour data (615) relating to features to be provided to a substrate (625) across a plurality of layers, for each of a plurality of process conditions (600) associated with providing the features across said plurality of layers and failure mode data (650) describing constraints on the contour data across the plurality of layers. The failure mode data is applied to the contour data to determine (640) a failure count for each process condition; and the process window is determined (655) by associating each process condition to its corresponding failure count. Also disclosed is a method of determining an actuation constrained subspace of the process window based on actuation constraints imposed by the plurality of actuators.
L'invention concerne un procédé de détermination d'une fenêtre de traitement dans un espace de traitement consistant à obtenir (610) de données de contour (615) se rapportant à des caractéristiques devant être fournies à un substrat (625) à travers une pluralité de couches, pour chacune d'une pluralité de conditions de traitement (600) associées à la fourniture des caractéristiques à travers ladite pluralité de couches et des données de mode de défaillance (650) décrivant des contraintes sur les données de contour à travers la pluralité de couches. Les données de mode de défaillance sont appliquées aux données de contour pour déterminer (640) un nombre de défaillances pour chaque condition de traitement ; et la fenêtre de traitement est déterminée (655) par l'association de chaque condition de traitement à son nombre de défaillances correspondant. L'invention concerne également un procédé de détermination d'un sous-espace contraint en actionnement de la fenêtre de traitement sur la base de contraintes d'actionnement imposées par la pluralité d'actionneurs.</description><subject>APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR</subject><subject>CINEMATOGRAPHY</subject><subject>ELECTROGRAPHY</subject><subject>HOLOGRAPHY</subject><subject>MATERIALS THEREFOR</subject><subject>ORIGINALS THEREFOR</subject><subject>PHOTOGRAPHY</subject><subject>PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES,e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTORDEVICES</subject><subject>PHYSICS</subject><fulltext>true</fulltext><rsrctype>patent</rsrctype><creationdate>2022</creationdate><recordtype>patent</recordtype><sourceid>EVB</sourceid><recordid>eNrjZPD0dQ3x8HdRcPMPUnD29wsJ8vfx8fRzV3BU8HX0C3VzdA4JDQLxA4L8nV2DgxUc_VwUHIOD_Z09HUNcgcyAAMcgx5DQYNdgHgbWtMSc4lReKM3NoOzmGuLsoZtakB-fWlyQmJyal1oSH-5vZGBkZGBobm5g6mhoTJwqAP2eLjc</recordid><startdate>20220127</startdate><enddate>20220127</enddate><creator>THEEUWES, Thomas</creator><creator>JUNG, Sun Wook</creator><creator>CORRADI, Antonio</creator><creator>HSU, Duan-Fu</creator><creator>NIKOLSKI, Pioter</creator><scope>EVB</scope></search><sort><creationdate>20220127</creationdate><title>METHOD FOR CONTROLLING A MANUFACTURING PROCESS AND ASSOCIATED APPARATUSES</title><author>THEEUWES, Thomas ; JUNG, Sun Wook ; CORRADI, Antonio ; HSU, Duan-Fu ; NIKOLSKI, Pioter</author></sort><facets><frbrtype>5</frbrtype><frbrgroupid>cdi_FETCH-epo_espacenet_WO2022017705A13</frbrgroupid><rsrctype>patents</rsrctype><prefilter>patents</prefilter><language>eng ; fre</language><creationdate>2022</creationdate><topic>APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR</topic><topic>CINEMATOGRAPHY</topic><topic>ELECTROGRAPHY</topic><topic>HOLOGRAPHY</topic><topic>MATERIALS THEREFOR</topic><topic>ORIGINALS THEREFOR</topic><topic>PHOTOGRAPHY</topic><topic>PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES,e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTORDEVICES</topic><topic>PHYSICS</topic><toplevel>online_resources</toplevel><creatorcontrib>THEEUWES, Thomas</creatorcontrib><creatorcontrib>JUNG, Sun Wook</creatorcontrib><creatorcontrib>CORRADI, Antonio</creatorcontrib><creatorcontrib>HSU, Duan-Fu</creatorcontrib><creatorcontrib>NIKOLSKI, Pioter</creatorcontrib><collection>esp@cenet</collection></facets><delivery><delcategory>Remote Search Resource</delcategory><fulltext>fulltext_linktorsrc</fulltext></delivery><addata><au>THEEUWES, Thomas</au><au>JUNG, Sun Wook</au><au>CORRADI, Antonio</au><au>HSU, Duan-Fu</au><au>NIKOLSKI, Pioter</au><format>patent</format><genre>patent</genre><ristype>GEN</ristype><title>METHOD FOR CONTROLLING A MANUFACTURING PROCESS AND ASSOCIATED APPARATUSES</title><date>2022-01-27</date><risdate>2022</risdate><abstract>Disclosed is a method of determining a process window within a process space comprising obtaining (610) contour data (615) relating to features to be provided to a substrate (625) across a plurality of layers, for each of a plurality of process conditions (600) associated with providing the features across said plurality of layers and failure mode data (650) describing constraints on the contour data across the plurality of layers. The failure mode data is applied to the contour data to determine (640) a failure count for each process condition; and the process window is determined (655) by associating each process condition to its corresponding failure count. Also disclosed is a method of determining an actuation constrained subspace of the process window based on actuation constraints imposed by the plurality of actuators.
L'invention concerne un procédé de détermination d'une fenêtre de traitement dans un espace de traitement consistant à obtenir (610) de données de contour (615) se rapportant à des caractéristiques devant être fournies à un substrat (625) à travers une pluralité de couches, pour chacune d'une pluralité de conditions de traitement (600) associées à la fourniture des caractéristiques à travers ladite pluralité de couches et des données de mode de défaillance (650) décrivant des contraintes sur les données de contour à travers la pluralité de couches. Les données de mode de défaillance sont appliquées aux données de contour pour déterminer (640) un nombre de défaillances pour chaque condition de traitement ; et la fenêtre de traitement est déterminée (655) par l'association de chaque condition de traitement à son nombre de défaillances correspondant. L'invention concerne également un procédé de détermination d'un sous-espace contraint en actionnement de la fenêtre de traitement sur la base de contraintes d'actionnement imposées par la pluralité d'actionneurs.</abstract><oa>free_for_read</oa></addata></record> |
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