IMAGE SENSOR WITH NANOSTRUCTURE-BASED CAPACITORS
An image sensor comprising an image sensor layer having a plurality of image sensor layer contact pads; and a plurality of photo-sensitive elements, each being coupled to a respective image sensor layer contact pad; and a capacitor layer having: a plurality of first capacitor contact structures, eac...
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Format: | Patent |
Sprache: | eng ; fre |
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Zusammenfassung: | An image sensor comprising an image sensor layer having a plurality of image sensor layer contact pads; and a plurality of photo-sensitive elements, each being coupled to a respective image sensor layer contact pad; and a capacitor layer having: a plurality of first capacitor contact structures, each being constituted by a capacitor layer top contact pad bonded to a respective image sensor layer contact pad of the image sensor layer; a plurality of second capacitor contact structures; and a plurality of capacitors, embedded in a first dielectric material, each capacitor including at least one electrically conductive vertical nanostructure electrically conductively connected to one of a respective first capacitor contact structure and a respective second capacitor contact structure, and conductively separated from the other one of the respective first capacitor contact structure and the respective second capacitor contact structure by a layer of a second dielectric material.
Un capteur d'image comprend une couche de capteur d'image comportant une pluralité de plages de contact de couche de capteur d'image ; et une pluralité d'éléments photosensibles couplés chacun à une plage de contact respective de la couche de capteur d'image ; et une couche de condensateur comportant une pluralité de premières structures de contact de condensateur, chacune étant constituée d'une plage de contact supérieure de couche de condensateur liée à une plage de contact respective de la couche de capteur d'image ; une pluralité de secondes structures de contact de condensateur ; et une pluralité de condensateurs intégrés dans un premier matériau diélectrique, chaque condensateur comprenant au moins une nanostructure verticale électriquement conductrice connectée de manière électriquement conductrice à une première structure de contact de condensateur respective ou à une seconde structure de contact de condensateur respective, et qui est séparée d'un point de vue conducteur de l'autre structure de contact de condensateur respective par une couche d'un second matériau diélectrique. |
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