MIMCAP ARCHITECTURE
A cell on an IC includes a first set of Mx layer interconnects coupled to a first voltage, a second set of Mx layer interconnects coupled to a second voltage different than the first voltage, and a MIM capacitor structure below the Mx layer. The MIM capacitor structure includes a CTM, a CBM, and an...
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Format: | Patent |
Sprache: | eng ; fre |
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Zusammenfassung: | A cell on an IC includes a first set of Mx layer interconnects coupled to a first voltage, a second set of Mx layer interconnects coupled to a second voltage different than the first voltage, and a MIM capacitor structure below the Mx layer. The MIM capacitor structure includes a CTM, a CBM, and an insulator between portions of the CTMand the CBM. The first set of Mx layer interconnects is coupled to the CTM. The second set of Mx layer interconnects is coupled to the CBM. The MIM capacitor structure is between the Mx layer and an Mx-1 layer. The MIM capacitor structure includes a plurality of openings. The MIM capacitor structure is continuous within the cell and extends to at least two edges of the cell. In one configuration, the MIM capacitor structure extends to each edge of the cell.
Une cellule sur un circuit intégré comprend un premier ensemble d'interconnexions de couche Mx couplées à une première tension, un second ensemble d'interconnexions de couche Mx couplé à une seconde tension différente de la première tension, et une structure de condensateur MIM sous la couche Mx. La structure de condensateur MIM comprend un CTM, un CBM et un isolant entre des parties du CTM et du CBM. Le premier ensemble d'interconnexions de couche Mx est couplé au CTM. Le second ensemble d'interconnexions de couche Mx est couplé au CBM. La structure de condensateur MIM est entre la couche Mx et une couche Mx-1. La structure de condensateur MIM comprend une pluralité d'ouvertures. La structure de condensateur MIM est continue à l'intérieur de la cellule et s'étend jusqu'à au moins deux bords de la cellule. Dans une configuration, la structure de condensateur MIM s'étend jusqu'à chaque bord de la cellule. |
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