A CALIBRATION DEVICE AND METHOD FOR HYPERSPECTRAL MEMS TUNABLE FILTER

According to one aspect of the presently disclosed subject there is provided a device configured figured to allow illumination of light towards a tunable filter, each time towards a different portion thereof, and detect the optical response, (e.g., transmission or reflection from the portion that is illuminated with light). By detecting optical response of isolated illuminations towards different portions of the tunable filter each time, the state of the tunable filter at the illuminated portion, e.g. the optical gap between a movable member and a stationary member of the tunable filter, can be determined. By monitoring different portions of the tunable filter, the general state of the tunable filter is determined. For example, the general state of the tunable filter may be determined based on the optical gaps at different portions of the tunable filter while the actuation parameters are maintained unchanged. Un aspect de la présente divulgation concerne un dispositif configuré pour permettre le rayonnement d'une lumière vers un filtre accordable, à chaque fois vers une partie différente de ce dernier, et détecter la réponse optique (par exemple la transmission ou la réflexion par la partie éclairée par la lumière). Par la détection de la réponse optique d'éclairages isolés vers différentes parties du filtre accordable à chaque fois, l'état du filtre accordable au niveau de la partie éclairée, par exemple l'espace optique entre un élément mobile et un élément fixe du filtre accordable, peut être déterminé. Par la surveillance de différentes parties du filtre accordable, l'état général du filtre accordable est déterminé. Par exemple, l'état général du filtre accordable peut être déterminé en fonction des espaces optiques au niveau de différentes parties du filtre accordable alors que les paramètres d'actionnement sont maintenus inchangés.