LINEAR MOTION MECHANISM AND METHOD FOR SUPPRESSING SCATTERING OF PARTICLES
The present invention comprises: an internal moving body provided inside a case, the interior of which is exhausted, the internal moving body moving linearly and moving an external moving body outside the case body, the external moving body being connected to a connection part that projects outside...
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| Format: | Patent |
| Sprache: | eng ; fre ; jpn |
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| creator | NAKASHIMA, Tsunenaga SASAKI, Keisuke MATSUSHITA, Kazuya IDE, Kousei OZEKI, Masato AKIMOTO, Masami YASUTAKE, Takahiro IIDA, Naruaki |
| description | The present invention comprises: an internal moving body provided inside a case, the interior of which is exhausted, the internal moving body moving linearly and moving an external moving body outside the case body, the external moving body being connected to a connection part that projects outside the case body through an opening part; a seal belt provided inside the case body so as to extend in the linear direction and close the opening part, one surface side of the seal belt on both width-direction ends being separated from an opening edge part of the opening part and facing the opening edge part; and deformation control parts provided facing the other surface side on both width-direction ends of the seal belt in order to suppress deformation of the seal belt, which is connected to the internal moving body so as to move in accordance with the movement of the internal moving body.
La présente invention comprend : un corps mobile interne disposé à l'intérieur d'un boîtier dont l'intérieur est évacué, le corps mobile interne se déplaçant linéairement et déplaçant un corps mobile externe à l'extérieur du corps de boîtier, le corps mobile externe étant relié à une partie de liaison qui fait saillie à l'extérieur du corps de boîtier à travers une partie d'ouverture ; une courroie d'étanchéité disposée à l'intérieur du corps de boîtier de façon à s'étendre dans la direction linéaire et à fermer la partie d'ouverture, un côté de surface de la courroie d'étanchéité sur les deux extrémités du sens de la largeur étant séparé d'une partie de bord d'ouverture de la partie d'ouverture et faisant face à la partie de bord d'ouverture ; et des parties de commande de déformation disposées en regard de l'autre côté de surface sur les deux extrémités du sens de la largeur de la courroie d'étanchéité afin d'éliminer la déformation de la courroie d'étanchéité, qui est reliée au corps mobile interne de façon à pouvoir se déplacer en fonction du mouvement du corps mobile interne.
内部が排気されるケース体内に設けられ、直線移動すると共に前記開口部から当該ケース体の外部へ突出する接続部に接続されたケース体外部の外部移動体を移動させる内部移動体と、前記直線方向に延びて前記開口部を塞ぐようにケース体内に設けられると共に、幅方向における両端部の一面側が当該開口部の口縁部に離れて対向するシールベルトと、前記内部移動体の移動に応じて移動するように当該内部移動体に接続された前記シールベルトについての変形を抑制するために、当該シールベルトの幅方向の両端部の他面側に対向して設けられる変形抑制部を備える。 |
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La présente invention comprend : un corps mobile interne disposé à l'intérieur d'un boîtier dont l'intérieur est évacué, le corps mobile interne se déplaçant linéairement et déplaçant un corps mobile externe à l'extérieur du corps de boîtier, le corps mobile externe étant relié à une partie de liaison qui fait saillie à l'extérieur du corps de boîtier à travers une partie d'ouverture ; une courroie d'étanchéité disposée à l'intérieur du corps de boîtier de façon à s'étendre dans la direction linéaire et à fermer la partie d'ouverture, un côté de surface de la courroie d'étanchéité sur les deux extrémités du sens de la largeur étant séparé d'une partie de bord d'ouverture de la partie d'ouverture et faisant face à la partie de bord d'ouverture ; et des parties de commande de déformation disposées en regard de l'autre côté de surface sur les deux extrémités du sens de la largeur de la courroie d'étanchéité afin d'éliminer la déformation de la courroie d'étanchéité, qui est reliée au corps mobile interne de façon à pouvoir se déplacer en fonction du mouvement du corps mobile interne.
内部が排気されるケース体内に設けられ、直線移動すると共に前記開口部から当該ケース体の外部へ突出する接続部に接続されたケース体外部の外部移動体を移動させる内部移動体と、前記直線方向に延びて前記開口部を塞ぐようにケース体内に設けられると共に、幅方向における両端部の一面側が当該開口部の口縁部に離れて対向するシールベルトと、前記内部移動体の移動に応じて移動するように当該内部移動体に接続された前記シールベルトについての変形を抑制するために、当該シールベルトの幅方向の両端部の他面側に対向して設けられる変形抑制部を備える。</description><language>eng ; fre ; jpn</language><subject>APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR ; BASIC ELECTRIC ELEMENTS ; CINEMATOGRAPHY ; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ; ELECTRICITY ; ELECTROGRAPHY ; HOLOGRAPHY ; MATERIALS THEREFOR ; ORIGINALS THEREFOR ; PHOTOGRAPHY ; PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES,e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTORDEVICES ; PHYSICS ; SEMICONDUCTOR DEVICES</subject><creationdate>2021</creationdate><oa>free_for_read</oa><woscitedreferencessubscribed>false</woscitedreferencessubscribed></display><links><openurl>$$Topenurl_article</openurl><openurlfulltext>$$Topenurlfull_article</openurlfulltext><thumbnail>$$Tsyndetics_thumb_exl</thumbnail><linktohtml>$$Uhttps://worldwide.espacenet.com/publicationDetails/biblio?FT=D&date=20210617&DB=EPODOC&CC=WO&NR=2021117684A1$$EHTML$$P50$$Gepo$$Hfree_for_read</linktohtml><link.rule.ids>230,308,777,882,25545,76296</link.rule.ids><linktorsrc>$$Uhttps://worldwide.espacenet.com/publicationDetails/biblio?FT=D&date=20210617&DB=EPODOC&CC=WO&NR=2021117684A1$$EView_record_in_European_Patent_Office$$FView_record_in_$$GEuropean_Patent_Office$$Hfree_for_read</linktorsrc></links><search><creatorcontrib>NAKASHIMA, Tsunenaga</creatorcontrib><creatorcontrib>SASAKI, Keisuke</creatorcontrib><creatorcontrib>MATSUSHITA, Kazuya</creatorcontrib><creatorcontrib>IDE, Kousei</creatorcontrib><creatorcontrib>OZEKI, Masato</creatorcontrib><creatorcontrib>AKIMOTO, Masami</creatorcontrib><creatorcontrib>YASUTAKE, Takahiro</creatorcontrib><creatorcontrib>IIDA, Naruaki</creatorcontrib><title>LINEAR MOTION MECHANISM AND METHOD FOR SUPPRESSING SCATTERING OF PARTICLES</title><description>The present invention comprises: an internal moving body provided inside a case, the interior of which is exhausted, the internal moving body moving linearly and moving an external moving body outside the case body, the external moving body being connected to a connection part that projects outside the case body through an opening part; a seal belt provided inside the case body so as to extend in the linear direction and close the opening part, one surface side of the seal belt on both width-direction ends being separated from an opening edge part of the opening part and facing the opening edge part; and deformation control parts provided facing the other surface side on both width-direction ends of the seal belt in order to suppress deformation of the seal belt, which is connected to the internal moving body so as to move in accordance with the movement of the internal moving body.
La présente invention comprend : un corps mobile interne disposé à l'intérieur d'un boîtier dont l'intérieur est évacué, le corps mobile interne se déplaçant linéairement et déplaçant un corps mobile externe à l'extérieur du corps de boîtier, le corps mobile externe étant relié à une partie de liaison qui fait saillie à l'extérieur du corps de boîtier à travers une partie d'ouverture ; une courroie d'étanchéité disposée à l'intérieur du corps de boîtier de façon à s'étendre dans la direction linéaire et à fermer la partie d'ouverture, un côté de surface de la courroie d'étanchéité sur les deux extrémités du sens de la largeur étant séparé d'une partie de bord d'ouverture de la partie d'ouverture et faisant face à la partie de bord d'ouverture ; et des parties de commande de déformation disposées en regard de l'autre côté de surface sur les deux extrémités du sens de la largeur de la courroie d'étanchéité afin d'éliminer la déformation de la courroie d'étanchéité, qui est reliée au corps mobile interne de façon à pouvoir se déplacer en fonction du mouvement du corps mobile interne.
内部が排気されるケース体内に設けられ、直線移動すると共に前記開口部から当該ケース体の外部へ突出する接続部に接続されたケース体外部の外部移動体を移動させる内部移動体と、前記直線方向に延びて前記開口部を塞ぐようにケース体内に設けられると共に、幅方向における両端部の一面側が当該開口部の口縁部に離れて対向するシールベルトと、前記内部移動体の移動に応じて移動するように当該内部移動体に接続された前記シールベルトについての変形を抑制するために、当該シールベルトの幅方向の両端部の他面側に対向して設けられる変形抑制部を備える。</description><subject>APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR</subject><subject>BASIC ELECTRIC ELEMENTS</subject><subject>CINEMATOGRAPHY</subject><subject>ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR</subject><subject>ELECTRICITY</subject><subject>ELECTROGRAPHY</subject><subject>HOLOGRAPHY</subject><subject>MATERIALS THEREFOR</subject><subject>ORIGINALS THEREFOR</subject><subject>PHOTOGRAPHY</subject><subject>PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES,e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTORDEVICES</subject><subject>PHYSICS</subject><subject>SEMICONDUCTOR DEVICES</subject><fulltext>true</fulltext><rsrctype>patent</rsrctype><creationdate>2021</creationdate><recordtype>patent</recordtype><sourceid>EVB</sourceid><recordid>eNrjZPDy8fRzdQxS8PUP8fT3U_B1dfZw9PMM9lVw9HMB8kI8_F0U3PyDFIJDAwKCXIODPf3cFYKdHUNCXINATH83hQDHoBBPZx_XYB4G1rTEnOJUXijNzaDs5hri7KGbWpAfn1pckJicmpdaEh_ub2RgZGhoaG5mYeJoaEycKgAi1C51</recordid><startdate>20210617</startdate><enddate>20210617</enddate><creator>NAKASHIMA, Tsunenaga</creator><creator>SASAKI, Keisuke</creator><creator>MATSUSHITA, Kazuya</creator><creator>IDE, Kousei</creator><creator>OZEKI, Masato</creator><creator>AKIMOTO, Masami</creator><creator>YASUTAKE, Takahiro</creator><creator>IIDA, Naruaki</creator><scope>EVB</scope></search><sort><creationdate>20210617</creationdate><title>LINEAR MOTION MECHANISM AND METHOD FOR SUPPRESSING SCATTERING OF PARTICLES</title><author>NAKASHIMA, Tsunenaga ; SASAKI, Keisuke ; MATSUSHITA, Kazuya ; IDE, Kousei ; OZEKI, Masato ; AKIMOTO, Masami ; YASUTAKE, Takahiro ; IIDA, Naruaki</author></sort><facets><frbrtype>5</frbrtype><frbrgroupid>cdi_FETCH-epo_espacenet_WO2021117684A13</frbrgroupid><rsrctype>patents</rsrctype><prefilter>patents</prefilter><language>eng ; fre ; jpn</language><creationdate>2021</creationdate><topic>APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR</topic><topic>BASIC ELECTRIC ELEMENTS</topic><topic>CINEMATOGRAPHY</topic><topic>ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR</topic><topic>ELECTRICITY</topic><topic>ELECTROGRAPHY</topic><topic>HOLOGRAPHY</topic><topic>MATERIALS THEREFOR</topic><topic>ORIGINALS THEREFOR</topic><topic>PHOTOGRAPHY</topic><topic>PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES,e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTORDEVICES</topic><topic>PHYSICS</topic><topic>SEMICONDUCTOR DEVICES</topic><toplevel>online_resources</toplevel><creatorcontrib>NAKASHIMA, Tsunenaga</creatorcontrib><creatorcontrib>SASAKI, Keisuke</creatorcontrib><creatorcontrib>MATSUSHITA, Kazuya</creatorcontrib><creatorcontrib>IDE, Kousei</creatorcontrib><creatorcontrib>OZEKI, Masato</creatorcontrib><creatorcontrib>AKIMOTO, Masami</creatorcontrib><creatorcontrib>YASUTAKE, Takahiro</creatorcontrib><creatorcontrib>IIDA, Naruaki</creatorcontrib><collection>esp@cenet</collection></facets><delivery><delcategory>Remote Search Resource</delcategory><fulltext>fulltext_linktorsrc</fulltext></delivery><addata><au>NAKASHIMA, Tsunenaga</au><au>SASAKI, Keisuke</au><au>MATSUSHITA, Kazuya</au><au>IDE, Kousei</au><au>OZEKI, Masato</au><au>AKIMOTO, Masami</au><au>YASUTAKE, Takahiro</au><au>IIDA, Naruaki</au><format>patent</format><genre>patent</genre><ristype>GEN</ristype><title>LINEAR MOTION MECHANISM AND METHOD FOR SUPPRESSING SCATTERING OF PARTICLES</title><date>2021-06-17</date><risdate>2021</risdate><abstract>The present invention comprises: an internal moving body provided inside a case, the interior of which is exhausted, the internal moving body moving linearly and moving an external moving body outside the case body, the external moving body being connected to a connection part that projects outside the case body through an opening part; a seal belt provided inside the case body so as to extend in the linear direction and close the opening part, one surface side of the seal belt on both width-direction ends being separated from an opening edge part of the opening part and facing the opening edge part; and deformation control parts provided facing the other surface side on both width-direction ends of the seal belt in order to suppress deformation of the seal belt, which is connected to the internal moving body so as to move in accordance with the movement of the internal moving body.
La présente invention comprend : un corps mobile interne disposé à l'intérieur d'un boîtier dont l'intérieur est évacué, le corps mobile interne se déplaçant linéairement et déplaçant un corps mobile externe à l'extérieur du corps de boîtier, le corps mobile externe étant relié à une partie de liaison qui fait saillie à l'extérieur du corps de boîtier à travers une partie d'ouverture ; une courroie d'étanchéité disposée à l'intérieur du corps de boîtier de façon à s'étendre dans la direction linéaire et à fermer la partie d'ouverture, un côté de surface de la courroie d'étanchéité sur les deux extrémités du sens de la largeur étant séparé d'une partie de bord d'ouverture de la partie d'ouverture et faisant face à la partie de bord d'ouverture ; et des parties de commande de déformation disposées en regard de l'autre côté de surface sur les deux extrémités du sens de la largeur de la courroie d'étanchéité afin d'éliminer la déformation de la courroie d'étanchéité, qui est reliée au corps mobile interne de façon à pouvoir se déplacer en fonction du mouvement du corps mobile interne.
内部が排気されるケース体内に設けられ、直線移動すると共に前記開口部から当該ケース体の外部へ突出する接続部に接続されたケース体外部の外部移動体を移動させる内部移動体と、前記直線方向に延びて前記開口部を塞ぐようにケース体内に設けられると共に、幅方向における両端部の一面側が当該開口部の口縁部に離れて対向するシールベルトと、前記内部移動体の移動に応じて移動するように当該内部移動体に接続された前記シールベルトについての変形を抑制するために、当該シールベルトの幅方向の両端部の他面側に対向して設けられる変形抑制部を備える。</abstract><oa>free_for_read</oa></addata></record> |
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