PRISM-COUPLING SYSTEMS AND METHODS WITH IMPROVED INTENSITY TRANSITION POSITION DETECTION AND TILT COMPENSATION
The prism-coupling systems and methods include using a prism-coupling system to collect a 2D digital mode spectrum of an IOX article. The mode line and critical angle positions and orientations are found by performing a weighted fit to mode line and critical angle images and are used to define a com...
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Format: | Patent |
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Zusammenfassung: | The prism-coupling systems and methods include using a prism-coupling system to collect a 2D digital mode spectrum of an IOX article. The mode line and critical angle positions and orientations are found by performing a weighted fit to mode line and critical angle images and are used to define a compensated mode spectrum. If mode line tilt is found, it is removed from the 2D digital mode spectrum to define the compensated mode spectrum. The compensated mode spectrum is then processed using techniques known in the art to provide a more accurate estimate of stress-related characteristics of the IOX sample versus using the uncompensated mode spectrum. Derivative-based methods of accurately establishing positions of intensity transitions in a mode spectrum of an IOX sample using a derivative spectrum and curve fitting are also disclosed.
Les systèmes et les procédés de couplage de prisme comprennent l'utilisation d'un système de couplage de prisme pour collecter un spectre de mode numérique 2D d'un article IOX. La ligne de mode et les positions et orientations d'angle critique sont trouvées en effectuant un ajustement pondéré à des images de ligne de mode et d'angle critique et sont utilisées pour définir un spectre de mode compensé. Si une inclinaison de ligne de mode est trouvée, elle est retirée du spectre de mode numérique 2D pour définir le spectre de mode compensé. Le spectre de mode compensé est ensuite traité à l'aide de techniques connues dans l'état de la technique pour fournir une estimation plus précise des caractéristiques liées au stress de l'échantillon IOX en fonction du spectre de mode non compensé. L'invention concerne également des procédés basés sur des dérivés permettant d'établir avec précision des positions de transitions d'intensité dans un spectre de mode d'un échantillon IOX à l'aide d'un spectre dérivé et d'un ajustement de courbe. |
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