POWER SOURCE ISOLATION CIRCUITS FOR HEATER ELEMENTS OF SUBSTRATE SUPPORTS OF SUBSTRATE PROCESSING SYSTEMS

A substrate processing system includes a substrate support and a power supply circuit. The substrate support is configured to support a substrate, wherein the substrate support comprises one or more heating elements. The power supply circuit includes: a direct current-to-alternating current converter configured to convert a first direct current voltage to a first alternating current voltage, where the direct current-to-alternating current converter comprises at least one switch; and an isolation circuit comprising one of a coupled inductor or a transformer. The one of the coupled inductor or the transformer is configured to convert the first alternating current voltage to and second alternating current voltage and isolate the one or more heating elements from an earth ground. The power supply circuit is configured to provide an output voltage to the one or more heating elements based on the second alternating current voltage. La présente invention concerne un système de traitement de substrat, comprenant un support de substrat et un circuit d'alimentation électrique. Le support de substrat est conçu pour supporter un substrat, et comprend un ou plusieurs éléments chauffants. Le circuit d'alimentation électrique comprend : un convertisseur de courant continu-courant alternatif qui est conçu pour convertir une première tension continue en une première tension alternative, et qui comprend au moins un commutateur ; et un circuit d'isolation comprenant un inducteur ou un transformateur couplé. L'inducteur ou le transformateur couplé est conçu pour convertir la première tension alternative en une seconde tension alternative et isoler lesdits éléments chauffants d'une prise de terre. Le circuit d'alimentation électrique est conçu pour fournir une tension de sortie auxdits éléments chauffants suivant la seconde tension alternative.