MICROELECTROMECHANICAL SYSTEM COMPONENT OR A MICROFLUIDIC COMPONENT COMPRISING A FREE-HANGING OR FREE-STANDING MICROCHANNEL
The invention relates to a microelectromechanical system (MEMS) component or microfluidic component comprising a free-hanging or free-standing microchannel (1), as well as methods for manufacturing such a microchannel, as well as a flow sensor, e.g. a thermal flow sensor or a Coriolis flow sensor, p...
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| Format: | Patent |
| Sprache: | eng ; fre |
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| creator | VAN PUTTEN, Jack Herman DE BOER, Meint Jelle VELTKAMP, Henk-Willem WIEGERINK, Remco John YARIESBOUEI, Mahdieh GROENESTEIJN, Jarno YU, Qihui SPARREBOOM, Wouter LÖTTERS, Joost Conrad RODRIGUEZ OLGUIN, Miguel A |
| description | The invention relates to a microelectromechanical system (MEMS) component or microfluidic component comprising a free-hanging or free-standing microchannel (1), as well as methods for manufacturing such a microchannel, as well as a flow sensor, e.g. a thermal flow sensor or a Coriolis flow sensor, pressure sensor or multi-parameter sensor, valve, pump or microheater, comprising such a microelectromechanical system component or microfluidic component. The MEMS component allows to increase the flow range and/or decrease the pressure drop of for instance a micro Coriolis mass flow meter by increasing the channel diameter, while maintaining its advantages.
Cette invention concerne un composant de microsystème électromécanique (MEMS) ou un composant microfluidique comprenant un microcanal auto-porteur (1), ainsi que des procédés de fabrication d'un tel microcanal, ainsi qu'un débitmètre, par exemple débitmètre thermique ou un débitmètre de Coriolis, un capteur de pression ou un multi-capteur, une vanne, une pompe ou un micro-élément chauffant, comprenant un tel composant de microsystème électromécanique ou composant microfluidique. Le composant de microsystème électromécanique permet d'augmenter la gamme de débits et/ou de réduire la chute de pression, par exemple, d'un débitmètre massique de Coriolis, par l'augmentation du diamètre du canal, tout en conservant ses avantages. |
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Cette invention concerne un composant de microsystème électromécanique (MEMS) ou un composant microfluidique comprenant un microcanal auto-porteur (1), ainsi que des procédés de fabrication d'un tel microcanal, ainsi qu'un débitmètre, par exemple débitmètre thermique ou un débitmètre de Coriolis, un capteur de pression ou un multi-capteur, une vanne, une pompe ou un micro-élément chauffant, comprenant un tel composant de microsystème électromécanique ou composant microfluidique. Le composant de microsystème électromécanique permet d'augmenter la gamme de débits et/ou de réduire la chute de pression, par exemple, d'un débitmètre massique de Coriolis, par l'augmentation du diamètre du canal, tout en conservant ses avantages.</description><language>eng ; fre</language><subject>MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY ; PERFORMING OPERATIONS ; PROCESSES OR APPARATUS SPECIALLY ADAPTED FOR THE MANUFACTUREOR TREATMENT OF MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS ; TRANSPORTING</subject><creationdate>2021</creationdate><oa>free_for_read</oa><woscitedreferencessubscribed>false</woscitedreferencessubscribed></display><links><openurl>$$Topenurl_article</openurl><openurlfulltext>$$Topenurlfull_article</openurlfulltext><thumbnail>$$Tsyndetics_thumb_exl</thumbnail><linktohtml>$$Uhttps://worldwide.espacenet.com/publicationDetails/biblio?FT=D&date=20210325&DB=EPODOC&CC=WO&NR=2021054829A1$$EHTML$$P50$$Gepo$$Hfree_for_read</linktohtml><link.rule.ids>230,308,780,885,25564,76547</link.rule.ids><linktorsrc>$$Uhttps://worldwide.espacenet.com/publicationDetails/biblio?FT=D&date=20210325&DB=EPODOC&CC=WO&NR=2021054829A1$$EView_record_in_European_Patent_Office$$FView_record_in_$$GEuropean_Patent_Office$$Hfree_for_read</linktorsrc></links><search><creatorcontrib>VAN PUTTEN, Jack Herman</creatorcontrib><creatorcontrib>DE BOER, Meint Jelle</creatorcontrib><creatorcontrib>VELTKAMP, Henk-Willem</creatorcontrib><creatorcontrib>WIEGERINK, Remco John</creatorcontrib><creatorcontrib>YARIESBOUEI, Mahdieh</creatorcontrib><creatorcontrib>GROENESTEIJN, Jarno</creatorcontrib><creatorcontrib>YU, Qihui</creatorcontrib><creatorcontrib>SPARREBOOM, Wouter</creatorcontrib><creatorcontrib>LÖTTERS, Joost Conrad</creatorcontrib><creatorcontrib>RODRIGUEZ OLGUIN, Miguel A</creatorcontrib><title>MICROELECTROMECHANICAL SYSTEM COMPONENT OR A MICROFLUIDIC COMPONENT COMPRISING A FREE-HANGING OR FREE-STANDING MICROCHANNEL</title><description>The invention relates to a microelectromechanical system (MEMS) component or microfluidic component comprising a free-hanging or free-standing microchannel (1), as well as methods for manufacturing such a microchannel, as well as a flow sensor, e.g. a thermal flow sensor or a Coriolis flow sensor, pressure sensor or multi-parameter sensor, valve, pump or microheater, comprising such a microelectromechanical system component or microfluidic component. The MEMS component allows to increase the flow range and/or decrease the pressure drop of for instance a micro Coriolis mass flow meter by increasing the channel diameter, while maintaining its advantages.
Cette invention concerne un composant de microsystème électromécanique (MEMS) ou un composant microfluidique comprenant un microcanal auto-porteur (1), ainsi que des procédés de fabrication d'un tel microcanal, ainsi qu'un débitmètre, par exemple débitmètre thermique ou un débitmètre de Coriolis, un capteur de pression ou un multi-capteur, une vanne, une pompe ou un micro-élément chauffant, comprenant un tel composant de microsystème électromécanique ou composant microfluidique. Le composant de microsystème électromécanique permet d'augmenter la gamme de débits et/ou de réduire la chute de pression, par exemple, d'un débitmètre massique de Coriolis, par l'augmentation du diamètre du canal, tout en conservant ses avantages.</description><subject>MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY</subject><subject>PERFORMING OPERATIONS</subject><subject>PROCESSES OR APPARATUS SPECIALLY ADAPTED FOR THE MANUFACTUREOR TREATMENT OF MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS</subject><subject>TRANSPORTING</subject><fulltext>true</fulltext><rsrctype>patent</rsrctype><creationdate>2021</creationdate><recordtype>patent</recordtype><sourceid>EVB</sourceid><recordid>eNrjZKj29XQO8nf1cXUOCfL3dXX2cPTzdHb0UQiODA5x9VVw9vcN8Pdz9QtR8A9ScFQAK3bzCfV08XRGkgOxgjyDPf3cgWrcglxddYHGuIO4QF1gfnCIo58LSABsAsgWP1cfHgbWtMSc4lReKM3NoOzmGuLsoZtakB-fWlyQmJyal1oSH-5vZGBkaGBqYmFk6WhoTJwqAHKzPAo</recordid><startdate>20210325</startdate><enddate>20210325</enddate><creator>VAN PUTTEN, Jack Herman</creator><creator>DE BOER, Meint Jelle</creator><creator>VELTKAMP, Henk-Willem</creator><creator>WIEGERINK, Remco John</creator><creator>YARIESBOUEI, Mahdieh</creator><creator>GROENESTEIJN, Jarno</creator><creator>YU, Qihui</creator><creator>SPARREBOOM, Wouter</creator><creator>LÖTTERS, Joost Conrad</creator><creator>RODRIGUEZ OLGUIN, Miguel A</creator><scope>EVB</scope></search><sort><creationdate>20210325</creationdate><title>MICROELECTROMECHANICAL SYSTEM COMPONENT OR A MICROFLUIDIC COMPONENT COMPRISING A FREE-HANGING OR FREE-STANDING MICROCHANNEL</title><author>VAN PUTTEN, Jack Herman ; DE BOER, Meint Jelle ; VELTKAMP, Henk-Willem ; WIEGERINK, Remco John ; YARIESBOUEI, Mahdieh ; GROENESTEIJN, Jarno ; YU, Qihui ; SPARREBOOM, Wouter ; LÖTTERS, Joost Conrad ; RODRIGUEZ OLGUIN, Miguel A</author></sort><facets><frbrtype>5</frbrtype><frbrgroupid>cdi_FETCH-epo_espacenet_WO2021054829A13</frbrgroupid><rsrctype>patents</rsrctype><prefilter>patents</prefilter><language>eng ; fre</language><creationdate>2021</creationdate><topic>MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY</topic><topic>PERFORMING OPERATIONS</topic><topic>PROCESSES OR APPARATUS SPECIALLY ADAPTED FOR THE MANUFACTUREOR TREATMENT OF MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS</topic><topic>TRANSPORTING</topic><toplevel>online_resources</toplevel><creatorcontrib>VAN PUTTEN, Jack Herman</creatorcontrib><creatorcontrib>DE BOER, Meint Jelle</creatorcontrib><creatorcontrib>VELTKAMP, Henk-Willem</creatorcontrib><creatorcontrib>WIEGERINK, Remco John</creatorcontrib><creatorcontrib>YARIESBOUEI, Mahdieh</creatorcontrib><creatorcontrib>GROENESTEIJN, Jarno</creatorcontrib><creatorcontrib>YU, Qihui</creatorcontrib><creatorcontrib>SPARREBOOM, Wouter</creatorcontrib><creatorcontrib>LÖTTERS, Joost Conrad</creatorcontrib><creatorcontrib>RODRIGUEZ OLGUIN, Miguel A</creatorcontrib><collection>esp@cenet</collection></facets><delivery><delcategory>Remote Search Resource</delcategory><fulltext>fulltext_linktorsrc</fulltext></delivery><addata><au>VAN PUTTEN, Jack Herman</au><au>DE BOER, Meint Jelle</au><au>VELTKAMP, Henk-Willem</au><au>WIEGERINK, Remco John</au><au>YARIESBOUEI, Mahdieh</au><au>GROENESTEIJN, Jarno</au><au>YU, Qihui</au><au>SPARREBOOM, Wouter</au><au>LÖTTERS, Joost Conrad</au><au>RODRIGUEZ OLGUIN, Miguel A</au><format>patent</format><genre>patent</genre><ristype>GEN</ristype><title>MICROELECTROMECHANICAL SYSTEM COMPONENT OR A MICROFLUIDIC COMPONENT COMPRISING A FREE-HANGING OR FREE-STANDING MICROCHANNEL</title><date>2021-03-25</date><risdate>2021</risdate><abstract>The invention relates to a microelectromechanical system (MEMS) component or microfluidic component comprising a free-hanging or free-standing microchannel (1), as well as methods for manufacturing such a microchannel, as well as a flow sensor, e.g. a thermal flow sensor or a Coriolis flow sensor, pressure sensor or multi-parameter sensor, valve, pump or microheater, comprising such a microelectromechanical system component or microfluidic component. The MEMS component allows to increase the flow range and/or decrease the pressure drop of for instance a micro Coriolis mass flow meter by increasing the channel diameter, while maintaining its advantages.
Cette invention concerne un composant de microsystème électromécanique (MEMS) ou un composant microfluidique comprenant un microcanal auto-porteur (1), ainsi que des procédés de fabrication d'un tel microcanal, ainsi qu'un débitmètre, par exemple débitmètre thermique ou un débitmètre de Coriolis, un capteur de pression ou un multi-capteur, une vanne, une pompe ou un micro-élément chauffant, comprenant un tel composant de microsystème électromécanique ou composant microfluidique. Le composant de microsystème électromécanique permet d'augmenter la gamme de débits et/ou de réduire la chute de pression, par exemple, d'un débitmètre massique de Coriolis, par l'augmentation du diamètre du canal, tout en conservant ses avantages.</abstract><oa>free_for_read</oa></addata></record> |
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