SPECIMEN TRANSFER WITH EASY LOCATABILITY OF A TARGET ZONE
Bearbeitungs- und/oder Untersuchungsvorrichtung (100, 130) zum Bearbeiten und/oder Untersuchen einer Oberfläche einer Probe (107), wobei die Bearbeitungs- und/oder Untersuchungsvorrichtung (100, 130) eine Bearbeitungseinrichtung (102) zum Bearbeiten eines Zielbereichs (104) und/oder eine Untersuchun...
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| Format: | Patent |
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| creator | COUDERT, Pierre-Jean PINNO-RATH, Norbert GODEC-SCHÖNBACHER, Martin |
| description | Bearbeitungs- und/oder Untersuchungsvorrichtung (100, 130) zum Bearbeiten und/oder Untersuchen einer Oberfläche einer Probe (107), wobei die Bearbeitungs- und/oder Untersuchungsvorrichtung (100, 130) eine Bearbeitungseinrichtung (102) zum Bearbeiten eines Zielbereichs (104) und/oder eine Untersuchungseinrichtung (132) zum Untersuchen eines Zielbereichs (104) an der Oberfläche der Probe (107), eine mechanische Trägerschnittstelle (106) als mechanische Referenz zum Tragen eines abnehmbar an der Trägerschnittstelle (106) anbringbaren Probenträgers (108) mit der Probe (107), und eine Datenquelle (110) zum Bereitstellen von Daten an besagte Bearbeitungs- und/oder Untersuchungsvorrichtung (100, 130) oder an eine andere Bearbeitungs- und/oder Untersuchungsvorrichtung (100, 130) aufweist, welche Daten für eine Position des Zielbereichs (104) bezogen auf besagte mechanische Referenz indikativ sind.
The invention relates to a processing and/or inspection apparatus (100, 130) for processing and/or inspecting a surface of a specimen (107), wherein the processing and/or inspection apparatus (100, 130) comprises a processing device (102) for processing a target zone (104) and/or an inspection device (132) for inspecting a target zone (104) on the surface of the specimen (107), a mechanical support interface (106) as a mechanical reference for supporting a specimen carrier (108), which can be removably mounted on the support interface (106) with the specimen (107), and a data source (110) for providing data to said processing and/or inspection apparatus (100, 130), or to another processing and/or inspection apparatus (100, 130), which data is indicative for a position of the target zone (104) relative to said mechanical reference.
Appareil de traitement et/ou d'examen (100, 130) pour traiter et/ou examiner une surface d'un échantillon (107), l'appareil de traitement et/ou d'examen (100, 130) comprenant un dispositif de traitement (102) pour traiter une zone cible (104) et/ou un dispositif d'examen (132) pour examiner une zone cible (104) sur la surface de l'échantillon (107), une interface porteuse mécanique (106) comme référence mécanique pour porter un porte-échantillon (108) pouvant être fixé de manière amovible à l'interface porteuse (106) avec l'échantillon (107), et une source de données (110) pour fournir des données audit dispositif de traitement et/ou d'examen (100, 130) ou à un autre dispositif de traitement et/ou d'examen (100, 130), lesquelles données sont in |
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The invention relates to a processing and/or inspection apparatus (100, 130) for processing and/or inspecting a surface of a specimen (107), wherein the processing and/or inspection apparatus (100, 130) comprises a processing device (102) for processing a target zone (104) and/or an inspection device (132) for inspecting a target zone (104) on the surface of the specimen (107), a mechanical support interface (106) as a mechanical reference for supporting a specimen carrier (108), which can be removably mounted on the support interface (106) with the specimen (107), and a data source (110) for providing data to said processing and/or inspection apparatus (100, 130), or to another processing and/or inspection apparatus (100, 130), which data is indicative for a position of the target zone (104) relative to said mechanical reference.
Appareil de traitement et/ou d'examen (100, 130) pour traiter et/ou examiner une surface d'un échantillon (107), l'appareil de traitement et/ou d'examen (100, 130) comprenant un dispositif de traitement (102) pour traiter une zone cible (104) et/ou un dispositif d'examen (132) pour examiner une zone cible (104) sur la surface de l'échantillon (107), une interface porteuse mécanique (106) comme référence mécanique pour porter un porte-échantillon (108) pouvant être fixé de manière amovible à l'interface porteuse (106) avec l'échantillon (107), et une source de données (110) pour fournir des données audit dispositif de traitement et/ou d'examen (100, 130) ou à un autre dispositif de traitement et/ou d'examen (100, 130), lesquelles données sont indicatives d'une position de la zone cible (104) par rapport à ladite référence mécanique.</description><language>eng ; fre ; ger</language><subject>COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOTDIRECTED TO A PARTICULAR RESULT ; DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g.ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING ; INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIRCHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES ; MACHINE TOOLS ; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OFPARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS ; MEASURING ; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ; PERFORMING OPERATIONS ; PHYSICS ; TESTING ; TRANSPORTING</subject><creationdate>2020</creationdate><oa>free_for_read</oa><woscitedreferencessubscribed>false</woscitedreferencessubscribed></display><links><openurl>$$Topenurl_article</openurl><openurlfulltext>$$Topenurlfull_article</openurlfulltext><thumbnail>$$Tsyndetics_thumb_exl</thumbnail><linktohtml>$$Uhttps://worldwide.espacenet.com/publicationDetails/biblio?FT=D&date=20201217&DB=EPODOC&CC=WO&NR=2020249517A1$$EHTML$$P50$$Gepo$$Hfree_for_read</linktohtml><link.rule.ids>230,308,776,881,25543,76293</link.rule.ids><linktorsrc>$$Uhttps://worldwide.espacenet.com/publicationDetails/biblio?FT=D&date=20201217&DB=EPODOC&CC=WO&NR=2020249517A1$$EView_record_in_European_Patent_Office$$FView_record_in_$$GEuropean_Patent_Office$$Hfree_for_read</linktorsrc></links><search><creatorcontrib>COUDERT, Pierre-Jean</creatorcontrib><creatorcontrib>PINNO-RATH, Norbert</creatorcontrib><creatorcontrib>GODEC-SCHÖNBACHER, Martin</creatorcontrib><title>SPECIMEN TRANSFER WITH EASY LOCATABILITY OF A TARGET ZONE</title><description>Bearbeitungs- und/oder Untersuchungsvorrichtung (100, 130) zum Bearbeiten und/oder Untersuchen einer Oberfläche einer Probe (107), wobei die Bearbeitungs- und/oder Untersuchungsvorrichtung (100, 130) eine Bearbeitungseinrichtung (102) zum Bearbeiten eines Zielbereichs (104) und/oder eine Untersuchungseinrichtung (132) zum Untersuchen eines Zielbereichs (104) an der Oberfläche der Probe (107), eine mechanische Trägerschnittstelle (106) als mechanische Referenz zum Tragen eines abnehmbar an der Trägerschnittstelle (106) anbringbaren Probenträgers (108) mit der Probe (107), und eine Datenquelle (110) zum Bereitstellen von Daten an besagte Bearbeitungs- und/oder Untersuchungsvorrichtung (100, 130) oder an eine andere Bearbeitungs- und/oder Untersuchungsvorrichtung (100, 130) aufweist, welche Daten für eine Position des Zielbereichs (104) bezogen auf besagte mechanische Referenz indikativ sind.
The invention relates to a processing and/or inspection apparatus (100, 130) for processing and/or inspecting a surface of a specimen (107), wherein the processing and/or inspection apparatus (100, 130) comprises a processing device (102) for processing a target zone (104) and/or an inspection device (132) for inspecting a target zone (104) on the surface of the specimen (107), a mechanical support interface (106) as a mechanical reference for supporting a specimen carrier (108), which can be removably mounted on the support interface (106) with the specimen (107), and a data source (110) for providing data to said processing and/or inspection apparatus (100, 130), or to another processing and/or inspection apparatus (100, 130), which data is indicative for a position of the target zone (104) relative to said mechanical reference.
Appareil de traitement et/ou d'examen (100, 130) pour traiter et/ou examiner une surface d'un échantillon (107), l'appareil de traitement et/ou d'examen (100, 130) comprenant un dispositif de traitement (102) pour traiter une zone cible (104) et/ou un dispositif d'examen (132) pour examiner une zone cible (104) sur la surface de l'échantillon (107), une interface porteuse mécanique (106) comme référence mécanique pour porter un porte-échantillon (108) pouvant être fixé de manière amovible à l'interface porteuse (106) avec l'échantillon (107), et une source de données (110) pour fournir des données audit dispositif de traitement et/ou d'examen (100, 130) ou à un autre dispositif de traitement et/ou d'examen (100, 130), lesquelles données sont indicatives d'une position de la zone cible (104) par rapport à ladite référence mécanique.</description><subject>COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOTDIRECTED TO A PARTICULAR RESULT</subject><subject>DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g.ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING</subject><subject>INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIRCHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES</subject><subject>MACHINE TOOLS</subject><subject>MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OFPARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS</subject><subject>MEASURING</subject><subject>METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR</subject><subject>PERFORMING OPERATIONS</subject><subject>PHYSICS</subject><subject>TESTING</subject><subject>TRANSPORTING</subject><fulltext>true</fulltext><rsrctype>patent</rsrctype><creationdate>2020</creationdate><recordtype>patent</recordtype><sourceid>EVB</sourceid><recordid>eNrjZLAMDnB19vR19VMICXL0C3ZzDVII9wzxUHB1DI5U8PF3dgxxdPL08QyJVPB3U3BUCHEMcncNUYjy93PlYWBNS8wpTuWF0twMym6uIc4euqkF-fGpxQWJyal5qSXx4f5GBkBoYmlqaO5oaEycKgAnnCmR</recordid><startdate>20201217</startdate><enddate>20201217</enddate><creator>COUDERT, Pierre-Jean</creator><creator>PINNO-RATH, Norbert</creator><creator>GODEC-SCHÖNBACHER, Martin</creator><scope>EVB</scope></search><sort><creationdate>20201217</creationdate><title>SPECIMEN TRANSFER WITH EASY LOCATABILITY OF A TARGET ZONE</title><author>COUDERT, Pierre-Jean ; PINNO-RATH, Norbert ; GODEC-SCHÖNBACHER, Martin</author></sort><facets><frbrtype>5</frbrtype><frbrgroupid>cdi_FETCH-epo_espacenet_WO2020249517A13</frbrgroupid><rsrctype>patents</rsrctype><prefilter>patents</prefilter><language>eng ; fre ; ger</language><creationdate>2020</creationdate><topic>COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOTDIRECTED TO A PARTICULAR RESULT</topic><topic>DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g.ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING</topic><topic>INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIRCHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES</topic><topic>MACHINE TOOLS</topic><topic>MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OFPARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS</topic><topic>MEASURING</topic><topic>METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR</topic><topic>PERFORMING OPERATIONS</topic><topic>PHYSICS</topic><topic>TESTING</topic><topic>TRANSPORTING</topic><toplevel>online_resources</toplevel><creatorcontrib>COUDERT, Pierre-Jean</creatorcontrib><creatorcontrib>PINNO-RATH, Norbert</creatorcontrib><creatorcontrib>GODEC-SCHÖNBACHER, Martin</creatorcontrib><collection>esp@cenet</collection></facets><delivery><delcategory>Remote Search Resource</delcategory><fulltext>fulltext_linktorsrc</fulltext></delivery><addata><au>COUDERT, Pierre-Jean</au><au>PINNO-RATH, Norbert</au><au>GODEC-SCHÖNBACHER, Martin</au><format>patent</format><genre>patent</genre><ristype>GEN</ristype><title>SPECIMEN TRANSFER WITH EASY LOCATABILITY OF A TARGET ZONE</title><date>2020-12-17</date><risdate>2020</risdate><abstract>Bearbeitungs- und/oder Untersuchungsvorrichtung (100, 130) zum Bearbeiten und/oder Untersuchen einer Oberfläche einer Probe (107), wobei die Bearbeitungs- und/oder Untersuchungsvorrichtung (100, 130) eine Bearbeitungseinrichtung (102) zum Bearbeiten eines Zielbereichs (104) und/oder eine Untersuchungseinrichtung (132) zum Untersuchen eines Zielbereichs (104) an der Oberfläche der Probe (107), eine mechanische Trägerschnittstelle (106) als mechanische Referenz zum Tragen eines abnehmbar an der Trägerschnittstelle (106) anbringbaren Probenträgers (108) mit der Probe (107), und eine Datenquelle (110) zum Bereitstellen von Daten an besagte Bearbeitungs- und/oder Untersuchungsvorrichtung (100, 130) oder an eine andere Bearbeitungs- und/oder Untersuchungsvorrichtung (100, 130) aufweist, welche Daten für eine Position des Zielbereichs (104) bezogen auf besagte mechanische Referenz indikativ sind.
The invention relates to a processing and/or inspection apparatus (100, 130) for processing and/or inspecting a surface of a specimen (107), wherein the processing and/or inspection apparatus (100, 130) comprises a processing device (102) for processing a target zone (104) and/or an inspection device (132) for inspecting a target zone (104) on the surface of the specimen (107), a mechanical support interface (106) as a mechanical reference for supporting a specimen carrier (108), which can be removably mounted on the support interface (106) with the specimen (107), and a data source (110) for providing data to said processing and/or inspection apparatus (100, 130), or to another processing and/or inspection apparatus (100, 130), which data is indicative for a position of the target zone (104) relative to said mechanical reference.
Appareil de traitement et/ou d'examen (100, 130) pour traiter et/ou examiner une surface d'un échantillon (107), l'appareil de traitement et/ou d'examen (100, 130) comprenant un dispositif de traitement (102) pour traiter une zone cible (104) et/ou un dispositif d'examen (132) pour examiner une zone cible (104) sur la surface de l'échantillon (107), une interface porteuse mécanique (106) comme référence mécanique pour porter un porte-échantillon (108) pouvant être fixé de manière amovible à l'interface porteuse (106) avec l'échantillon (107), et une source de données (110) pour fournir des données audit dispositif de traitement et/ou d'examen (100, 130) ou à un autre dispositif de traitement et/ou d'examen (100, 130), lesquelles données sont indicatives d'une position de la zone cible (104) par rapport à ladite référence mécanique.</abstract><oa>free_for_read</oa></addata></record> |
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