ASSEMBLY AND METHOD FOR CALIBRATING AND OPERATING CAPACITIVE ACTUATORS

Die Erfindung betrifft eine Anordnung und ein Verfahren zur rückführbaren Kalibrierung eines elektrostatischen Aktors. Die Anordnung weist neben einem geführten mechanischen Gestell mindestens eine Einrichtung zur elektrostatischen Krafterzeugung auf. Mit der hier vorgeschlagenen Anordnung und dem dazugehörigen Verfahren kann durch Messung der an den Einrichtungen zur elektrostatischen Krafterzeugung vorherrschenden elektrischen Kenngrößen gleichzeitig und ohne die Anordnung oder messungsrelevante Teile der Vorrichtung in Resonanz zu versetzen, das Maß der Krafterzeugung bestimmt werden. Diese Kalibrierung kann während einer Krafterzeugung stattfinden. The invention relates to an assembly and to a method for traceably calibrating an electrostatic actuator. The assembly has, in addition to a guided mechanical frame, at least one apparatus for electrostatic force generation. By means of the assembly according to the invention and the associated method, the extent of the force generation can be determined by measuring the electrical characteristics at the apparatuses for electrostatic force generation simultaneously and with putting the assembly or measurement-relevant parts of the device into resonance. This calibration can occur during force generation. L'invention concerne un agencement et un procédé pour le calibrage traçable d'un actionneur électrostatique. L'agencement comporte, outre un châssis mécanique guidé, au moins un dispositif de génération de force électrostatique. Grâce à l'agencement proposé et le procédé associé, le degré de génération de force peut être déterminé en mesurant les paramètres électriques prévalant sur les dispositifs de génération de force électrostatique simultanément et sans faire résonner l'agencement ou les parties du dispositif pertinentes pour la mesure. Ce calibrage peut avoir lieu pendant la génération d'une force.