A FLUID HANDLING STRUCTURE AND METHOD FOR A GAS PHASE DEPOSITION APPARATUS

A fluid handling structure for a gas phase deposition apparatus, the structure defining a flow path with an inlet and an outlet for transmitting pressurized fluid from said inlet to the outlet, wherein the structure includes an elongated slit and a series of nozzles through which pressurized fluid is allowed to enter the elongated slit, the inlet being upstream the series of nozzles, and wherein the outlet is formed downstream at a gap opening of the elongated slit allowing pressurized fluid to discharge from the elongated slit towards a substrate, wherein the series of nozzles are configured to provide a larger flow resistance than the elongated slit, and wherein the series of nozzles are adapted to form a series of jet flows directed towards one or more impingement surfaces of the structure when pressurized fluid is transmitted through the flow path. La présente invention concerne une structure de manipulation de fluide pour un appareil de dépôt en phase gazeuse, la structure délimitant un trajet d'écoulement ayant une entrée et une sortie pour acheminer un fluide sous pression de ladite entrée vers la sortie, la structure comprenant une fente allongée et une série de buses à travers lesquelles un fluide sous pression peut entrer dans la fente allongée, l'entrée étant en amont de la série de buses, et la sortie étant formée en aval au niveau d'une ouverture d'espace de la fente allongée permettant au fluide sous pression de s'évacuer de la fente allongée vers un substrat, la série de buses étant conçue pour fournir une plus grande résistance à l'écoulement que la fente allongée, et la série de buses étant conçue pour former une série de flux de jets dirigés vers une ou plusieurs surfaces d'impact de la structure lorsque le fluide sous pression est acheminé à travers le trajet d'écoulement.