CHARGE NEUTRALIZING APPARATUS

This invention relates to a charge neutralizing apparatus for a processing chamber of an ion implantation device. La présente invention concerne un appareil de neutralisation de charge pour une chambre de traitement d'un dispositif d'implantation ionique.

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	JACQUES, Amory, FERNANDES, José, NAVET, Benjamine
Format:	Patent
Sprache:	eng ; fre
Schlagworte:	BASIC ELECTRIC ELEMENTS ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS ELECTRICITY
Online-Zugang:	Volltext bestellen
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