METHODS FOR SAMPLE SCHEME GENERATION AND OPTIMIZATION

A method for sample scheme (624) generation has the steps: obtaining (606) measurement data (608) associated with a set of locations; analyzing (610) the measurement data to determine statistically different groups of the locations; and configuring (614) a sample scheme generation algorithm (622) based on the statistically different groups. A method including: obtaining a constraint (618) and/or a plurality of key performance indicators (620) associated with a sample scheme across one or more substrates; and using the constraint (618) and/or the plurality of key performance indicators (620) in a sample scheme generation algorithm comprising a multi-objective genetic algorithm (622). The locations may define one or more regions spanning a plurality of fields across one or more substrates and step of analyzing (610) the measurement data may comprise stacking across the spanned plurality of fields using different respective sub-sampling. La présente invention concerne un procédé de génération de schéma d'échantillonnage (624) qui comprend les étapes consistant à : obtenir (606) des données de mesure (608) associées à un ensemble d'emplacements ; analyser (610) les données de mesure pour déterminer des groupes d'emplacements qui sont statistiquement différents ; et configurer (614) un algorithme de génération de schéma d'échantillonnage (622) sur la base des groupes statistiquement différents. Un procédé comprend les étapes consistant à : obtenir une contrainte (618) et/ou une pluralité d'indicateurs de performance clé (620) associés à un schéma d'échantillonnage sur un ou plusieurs substrats ; et utiliser la contrainte (618) et/ou la pluralité d'indicateurs de performance clé (620) dans un algorithme de génération de schéma d'échantillonnage comprenant un algorithme génétique multi-objectif (622). Les emplacements peuvent définir une ou plusieurs régions couvrant une pluralité de champs sur un ou plusieurs substrats et l'étape consistant à analyser (610) les données de mesure peut comprendre l'empilement sur la pluralité de champs couverts à l'aide de différents sous-échantillonnages respectifs.