DEPOSITION SOURCE FOR DEPOSITING EVAPORATED MATERIAL, DEPOSITION APPARATUS, AND METHODS THEREFOR

A deposition source for depositing evaporated material is described. The deposition source (100) includes a distribution arrangement (110) having a plurality of outlets (111) for providing an evaporated first material (A) and an evaporated second material (B) in a main deposition direction (101). Additionally, the deposition source includes a measurement assembly (120) for measuring a first deposition rate of the evaporated first material (A) and for measuring a second deposition rate of the evaporated second material (B). The measurement assembly (120) has a main detection direction (102) being in a cross direction to the main deposition direction (101). Further, the deposition source (100) includes a separation element (130) for separating the evaporated first material (A) and the evaporated second material (B) in a cross direction to the main detection direction (102). The separation element (130) is arranged in the main detection direction (102) between the plurality of outlets (111) and the measurement assembly (120). La présente invention concerne une source de dépôt pour déposer un matériau évaporé. La source de dépôt (100) comprend un agencement de distribution (110) ayant une pluralité de sorties (111) pour fournir un premier matériau évaporé (A) et un deuxième matériau évaporé (B) dans une direction de dépôt principale (101). En outre, la source de dépôt comprend un ensemble de mesure (120) pour mesurer un premier taux de dépôt du premier matériau évaporé (A) et pour mesurer un deuxième taux de dépôt du deuxième matériau évaporé (B). L'ensemble de mesure (120) a une direction de détection principale (102) qui est dans une direction transversale par rapport à la direction de dépôt principale (101). En outre, la source de dépôt (100) comprend un élément de séparation (130) pour séparer le premier matériau évaporé (A) et le deuxième matériau évaporé (B) dans une direction transversale par rapport à la direction de détection principale (102). L'élément de séparation (130) est agencé dans la direction de détection principale (102) entre la pluralité de sorties (111) et l'ensemble de mesure (120).