METHOD AND DEVICE FOR DEPOSITING A NANO-OBJECT

The present invention relates to a method for depositing an object (6), comprising: - approaching, in an enclosure, a holder in the direction of a carrier substrate (5), then - transferring, in the enclosure, the object from the holder to an area for depositing (7) the carrier substrate. The transfe...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	DESJARDINS, Matthieu, CUBAYNES, Tino, DELBECQ, Matthieu, KONTOS, Takis, PALOMO, José, DARTIAILH, Matthieu
Format:	Patent
Sprache:	eng ; fre
Schlagworte:	MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY PERFORMING OPERATIONS PROCESSES OR APPARATUS SPECIALLY ADAPTED FOR THE MANUFACTUREOR TREATMENT OF MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS TRANSPORTING
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Beschreibung
Zusammenfassung:	The present invention relates to a method for depositing an object (6), comprising: - approaching, in an enclosure, a holder in the direction of a carrier substrate (5), then - transferring, in the enclosure, the object from the holder to an area for depositing (7) the carrier substrate. The transfer step is preferably carried out when the inside of the enclosure is in a vacuum at a pressure below 10 -6 bar. La présente invention concerne un procédé de dépôt d'un objet (6) comprenant : - une approche, dans une enceinte, d'un support en direction d'un substrat porteur (5), puis - un transfert, dans l'enceinte, de l'objet du support vers une zone de dépôt (7) du substrat porteur. L'étape de transfert est de préférence réalisée alors que l'intérieur de l'enceinte est sous vide à une pression inférieure à 10 -6 bar.