METHOD FOR PRODUCING A MULTIPLE-COAT ANTI-EROSION AND ANTI-CORROSION COATING, AND COMPONENT WITH A CORRESPONDING PROTECTIVE COATING
Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung einer mehrlagigen Erosions - und Korrosionsschutzschicht mit mehreren Metallschichten (2,4) und Keramikschichten (3,5), wobei die Metall - und Keramikschichten abwechselnd abgeschieden werden und wobei auf einem Grundwerkstoff (1) eine...
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| Format: | Patent |
| Sprache: | eng ; fre ; ger |
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| creator | UTZ, Philipp SCHNEIDERBANGER, Stefan EICHMANN, Wolfgang UIHLEIN, Thomas STOLLE, Ralf |
| description | Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung einer mehrlagigen Erosions - und Korrosionsschutzschicht mit mehreren Metallschichten (2,4) und Keramikschichten (3,5), wobei die Metall - und Keramikschichten abwechselnd abgeschieden werden und wobei auf einem Grundwerkstoff (1) eines Substrats eine der Metallschichten abgeschieden wird und wobei die Abscheidung der Metallschichten und der Keramikschichten durch physikalische Dampfphasenabscheidung erfolgt, wobei zunächst ein plasmaunterstütztes Ätzen des Grundwerkstoffs (1) erfolgt und anschließend als Metallschicht (2,4) eine Cr - Schicht und darauffolgend als Keramikschicht (3,5) eine Schicht, die überwiegend CrAlN aufweist, abgeschieden werden und wobei die Keramikschicht (3,5) als CrAlN - Schicht mit eingelagerten CrN - Nanolagen (6) unter Zugabe von Stickstoff und Verwendung eines Cr Al - Targets und eines Cr - Targets abgeschieden wird, und / oder der Grundwerkstoff ausgewählt ist aus der Gruppe, die Fe -, Ni -, Co - Legierungen und keramische Verbundwerkstoffe und faserverstärkte Keramiken umfasst. Außerdem betrifft die Erfindung ein entsprechend beschichtetes Bauteil.
The present invention relates to a method for producing a multiple-coat anti-erosion and anti-corrosion coating with a plurality of metal layers (2, 4) and ceramic layers (3, 5), wherein: the metal and ceramic layers are deposited alternately; one of the metal layers is deposited on a base material (1) of a substrate; and the metal layers and the ceramic layers are deposited by physical vapour deposition, with the base material (1) first being plasma etched and a Cr layer then being deposited as the metal layer (2, 4) and subsequently a layer predominantly consisting of CrAIN being deposited as the ceramic layer (3, 5), and with the ceramic layer (3, 5) being deposited as a CrAlN layer with embedded CrN nanolayers (6) with the addition of nitrogen and the use of a Cr Al target and a Cr target and/or the base material being selected from the group comprising Fe, Ni, and Co alloys and ceramic composite materials and fibre-reinforced ceramics. The invention also relates to a correspondingly coated component.
La présente invention concerne un procédé de fabrication d'une couche de protection contre l'érosion et la corrosion présentant plusieurs couches comprenant plusieurs couches métalliques (2, 4) et couches céramiques (3, 5), les couches métalliques et céramiques étant à tour de rôle déposées et l'une des couches métal |
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The present invention relates to a method for producing a multiple-coat anti-erosion and anti-corrosion coating with a plurality of metal layers (2, 4) and ceramic layers (3, 5), wherein: the metal and ceramic layers are deposited alternately; one of the metal layers is deposited on a base material (1) of a substrate; and the metal layers and the ceramic layers are deposited by physical vapour deposition, with the base material (1) first being plasma etched and a Cr layer then being deposited as the metal layer (2, 4) and subsequently a layer predominantly consisting of CrAIN being deposited as the ceramic layer (3, 5), and with the ceramic layer (3, 5) being deposited as a CrAlN layer with embedded CrN nanolayers (6) with the addition of nitrogen and the use of a Cr Al target and a Cr target and/or the base material being selected from the group comprising Fe, Ni, and Co alloys and ceramic composite materials and fibre-reinforced ceramics. The invention also relates to a correspondingly coated component.
La présente invention concerne un procédé de fabrication d'une couche de protection contre l'érosion et la corrosion présentant plusieurs couches comprenant plusieurs couches métalliques (2, 4) et couches céramiques (3, 5), les couches métalliques et céramiques étant à tour de rôle déposées et l'une des couches métalliques étant déposée sur un métal de base (1) d'un substrat et le dépôt des couches métalliques et des couches céramiques étant réalisé par dépôt physique en phase vapeur. Une attaque du métal de base (1) assistée par plasma est d'abord réalisée puis, une couche de Cr, en tant que couche métallique (2, 4) et ensuite une couche présentant principalement du CrAlN, en tant que couche céramique (3, 5), sont déposées et la couche céramique (3, 5) sous forme de couche de CrAlN comprenant des microcouches (6) de CrN incorporées, est déposée en ajoutant de l'azote et en utilisant une cible CrAl et une cible Cr, et/ou le métal de base est choisi dans le groupe comprenant des alliages de Fe, Ni et Co et des composites céramiques ainsi que des céramiques renforcées de fibres. L'invention concerne en outre une pièce revêtue de manière correspondante.</description><language>eng ; fre ; ger</language><subject>CHEMICAL SURFACE TREATMENT ; CHEMISTRY ; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATIONOR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL ; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY IONIMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL ; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL ; COATING METALLIC MATERIAL ; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL ; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION INGENERAL ; METALLURGY ; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THESURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION</subject><creationdate>2020</creationdate><oa>free_for_read</oa><woscitedreferencessubscribed>false</woscitedreferencessubscribed></display><links><openurl>$$Topenurl_article</openurl><openurlfulltext>$$Topenurlfull_article</openurlfulltext><thumbnail>$$Tsyndetics_thumb_exl</thumbnail><linktohtml>$$Uhttps://worldwide.espacenet.com/publicationDetails/biblio?FT=D&date=20200402&DB=EPODOC&CC=WO&NR=2020064041A1$$EHTML$$P50$$Gepo$$Hfree_for_read</linktohtml><link.rule.ids>230,309,781,886,25566,76549</link.rule.ids><linktorsrc>$$Uhttps://worldwide.espacenet.com/publicationDetails/biblio?FT=D&date=20200402&DB=EPODOC&CC=WO&NR=2020064041A1$$EView_record_in_European_Patent_Office$$FView_record_in_$$GEuropean_Patent_Office$$Hfree_for_read</linktorsrc></links><search><creatorcontrib>UTZ, Philipp</creatorcontrib><creatorcontrib>SCHNEIDERBANGER, Stefan</creatorcontrib><creatorcontrib>EICHMANN, Wolfgang</creatorcontrib><creatorcontrib>UIHLEIN, Thomas</creatorcontrib><creatorcontrib>STOLLE, Ralf</creatorcontrib><title>METHOD FOR PRODUCING A MULTIPLE-COAT ANTI-EROSION AND ANTI-CORROSION COATING, AND COMPONENT WITH A CORRESPONDING PROTECTIVE COATING</title><description>Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung einer mehrlagigen Erosions - und Korrosionsschutzschicht mit mehreren Metallschichten (2,4) und Keramikschichten (3,5), wobei die Metall - und Keramikschichten abwechselnd abgeschieden werden und wobei auf einem Grundwerkstoff (1) eines Substrats eine der Metallschichten abgeschieden wird und wobei die Abscheidung der Metallschichten und der Keramikschichten durch physikalische Dampfphasenabscheidung erfolgt, wobei zunächst ein plasmaunterstütztes Ätzen des Grundwerkstoffs (1) erfolgt und anschließend als Metallschicht (2,4) eine Cr - Schicht und darauffolgend als Keramikschicht (3,5) eine Schicht, die überwiegend CrAlN aufweist, abgeschieden werden und wobei die Keramikschicht (3,5) als CrAlN - Schicht mit eingelagerten CrN - Nanolagen (6) unter Zugabe von Stickstoff und Verwendung eines Cr Al - Targets und eines Cr - Targets abgeschieden wird, und / oder der Grundwerkstoff ausgewählt ist aus der Gruppe, die Fe -, Ni -, Co - Legierungen und keramische Verbundwerkstoffe und faserverstärkte Keramiken umfasst. Außerdem betrifft die Erfindung ein entsprechend beschichtetes Bauteil.
The present invention relates to a method for producing a multiple-coat anti-erosion and anti-corrosion coating with a plurality of metal layers (2, 4) and ceramic layers (3, 5), wherein: the metal and ceramic layers are deposited alternately; one of the metal layers is deposited on a base material (1) of a substrate; and the metal layers and the ceramic layers are deposited by physical vapour deposition, with the base material (1) first being plasma etched and a Cr layer then being deposited as the metal layer (2, 4) and subsequently a layer predominantly consisting of CrAIN being deposited as the ceramic layer (3, 5), and with the ceramic layer (3, 5) being deposited as a CrAlN layer with embedded CrN nanolayers (6) with the addition of nitrogen and the use of a Cr Al target and a Cr target and/or the base material being selected from the group comprising Fe, Ni, and Co alloys and ceramic composite materials and fibre-reinforced ceramics. The invention also relates to a correspondingly coated component.
La présente invention concerne un procédé de fabrication d'une couche de protection contre l'érosion et la corrosion présentant plusieurs couches comprenant plusieurs couches métalliques (2, 4) et couches céramiques (3, 5), les couches métalliques et céramiques étant à tour de rôle déposées et l'une des couches métalliques étant déposée sur un métal de base (1) d'un substrat et le dépôt des couches métalliques et des couches céramiques étant réalisé par dépôt physique en phase vapeur. Une attaque du métal de base (1) assistée par plasma est d'abord réalisée puis, une couche de Cr, en tant que couche métallique (2, 4) et ensuite une couche présentant principalement du CrAlN, en tant que couche céramique (3, 5), sont déposées et la couche céramique (3, 5) sous forme de couche de CrAlN comprenant des microcouches (6) de CrN incorporées, est déposée en ajoutant de l'azote et en utilisant une cible CrAl et une cible Cr, et/ou le métal de base est choisi dans le groupe comprenant des alliages de Fe, Ni et Co et des composites céramiques ainsi que des céramiques renforcées de fibres. L'invention concerne en outre une pièce revêtue de manière correspondante.</description><subject>CHEMICAL SURFACE TREATMENT</subject><subject>CHEMISTRY</subject><subject>COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATIONOR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL</subject><subject>COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY IONIMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL</subject><subject>COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL</subject><subject>COATING METALLIC MATERIAL</subject><subject>DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL</subject><subject>INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION INGENERAL</subject><subject>METALLURGY</subject><subject>SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THESURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION</subject><fulltext>true</fulltext><rsrctype>patent</rsrctype><creationdate>2020</creationdate><recordtype>patent</recordtype><sourceid>EVB</sourceid><recordid>eNqNjbEOgjAQhlkcjPoOTVwlKUjYm_awTaBHyiEjIaZORknwDXxxi-LudLnvvv-_dfSqgDQqVqBjtUPVSmNPTLCqLcnUJcQSBTFhycTgsDFow6K-QKJb0CyF3OFzk1jVaMES6wzp0DV70ASm5u7whUCSOcMvto1W1-E2-d0yN9G-AJI69uOj99M4XPzdP_sOU55ynmc8S0Ry_M96AxuGPfE</recordid><startdate>20200402</startdate><enddate>20200402</enddate><creator>UTZ, Philipp</creator><creator>SCHNEIDERBANGER, Stefan</creator><creator>EICHMANN, Wolfgang</creator><creator>UIHLEIN, Thomas</creator><creator>STOLLE, Ralf</creator><scope>EVB</scope></search><sort><creationdate>20200402</creationdate><title>METHOD FOR PRODUCING A MULTIPLE-COAT ANTI-EROSION AND ANTI-CORROSION COATING, AND COMPONENT WITH A CORRESPONDING PROTECTIVE COATING</title><author>UTZ, Philipp ; SCHNEIDERBANGER, Stefan ; EICHMANN, Wolfgang ; UIHLEIN, Thomas ; STOLLE, Ralf</author></sort><facets><frbrtype>5</frbrtype><frbrgroupid>cdi_FETCH-epo_espacenet_WO2020064041A13</frbrgroupid><rsrctype>patents</rsrctype><prefilter>patents</prefilter><language>eng ; fre ; ger</language><creationdate>2020</creationdate><topic>CHEMICAL SURFACE TREATMENT</topic><topic>CHEMISTRY</topic><topic>COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATIONOR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL</topic><topic>COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY IONIMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL</topic><topic>COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL</topic><topic>COATING METALLIC MATERIAL</topic><topic>DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL</topic><topic>INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION INGENERAL</topic><topic>METALLURGY</topic><topic>SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THESURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION</topic><toplevel>online_resources</toplevel><creatorcontrib>UTZ, Philipp</creatorcontrib><creatorcontrib>SCHNEIDERBANGER, Stefan</creatorcontrib><creatorcontrib>EICHMANN, Wolfgang</creatorcontrib><creatorcontrib>UIHLEIN, Thomas</creatorcontrib><creatorcontrib>STOLLE, Ralf</creatorcontrib><collection>esp@cenet</collection></facets><delivery><delcategory>Remote Search Resource</delcategory><fulltext>fulltext_linktorsrc</fulltext></delivery><addata><au>UTZ, Philipp</au><au>SCHNEIDERBANGER, Stefan</au><au>EICHMANN, Wolfgang</au><au>UIHLEIN, Thomas</au><au>STOLLE, Ralf</au><format>patent</format><genre>patent</genre><ristype>GEN</ristype><title>METHOD FOR PRODUCING A MULTIPLE-COAT ANTI-EROSION AND ANTI-CORROSION COATING, AND COMPONENT WITH A CORRESPONDING PROTECTIVE COATING</title><date>2020-04-02</date><risdate>2020</risdate><abstract>Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung einer mehrlagigen Erosions - und Korrosionsschutzschicht mit mehreren Metallschichten (2,4) und Keramikschichten (3,5), wobei die Metall - und Keramikschichten abwechselnd abgeschieden werden und wobei auf einem Grundwerkstoff (1) eines Substrats eine der Metallschichten abgeschieden wird und wobei die Abscheidung der Metallschichten und der Keramikschichten durch physikalische Dampfphasenabscheidung erfolgt, wobei zunächst ein plasmaunterstütztes Ätzen des Grundwerkstoffs (1) erfolgt und anschließend als Metallschicht (2,4) eine Cr - Schicht und darauffolgend als Keramikschicht (3,5) eine Schicht, die überwiegend CrAlN aufweist, abgeschieden werden und wobei die Keramikschicht (3,5) als CrAlN - Schicht mit eingelagerten CrN - Nanolagen (6) unter Zugabe von Stickstoff und Verwendung eines Cr Al - Targets und eines Cr - Targets abgeschieden wird, und / oder der Grundwerkstoff ausgewählt ist aus der Gruppe, die Fe -, Ni -, Co - Legierungen und keramische Verbundwerkstoffe und faserverstärkte Keramiken umfasst. Außerdem betrifft die Erfindung ein entsprechend beschichtetes Bauteil.
The present invention relates to a method for producing a multiple-coat anti-erosion and anti-corrosion coating with a plurality of metal layers (2, 4) and ceramic layers (3, 5), wherein: the metal and ceramic layers are deposited alternately; one of the metal layers is deposited on a base material (1) of a substrate; and the metal layers and the ceramic layers are deposited by physical vapour deposition, with the base material (1) first being plasma etched and a Cr layer then being deposited as the metal layer (2, 4) and subsequently a layer predominantly consisting of CrAIN being deposited as the ceramic layer (3, 5), and with the ceramic layer (3, 5) being deposited as a CrAlN layer with embedded CrN nanolayers (6) with the addition of nitrogen and the use of a Cr Al target and a Cr target and/or the base material being selected from the group comprising Fe, Ni, and Co alloys and ceramic composite materials and fibre-reinforced ceramics. The invention also relates to a correspondingly coated component.
La présente invention concerne un procédé de fabrication d'une couche de protection contre l'érosion et la corrosion présentant plusieurs couches comprenant plusieurs couches métalliques (2, 4) et couches céramiques (3, 5), les couches métalliques et céramiques étant à tour de rôle déposées et l'une des couches métalliques étant déposée sur un métal de base (1) d'un substrat et le dépôt des couches métalliques et des couches céramiques étant réalisé par dépôt physique en phase vapeur. Une attaque du métal de base (1) assistée par plasma est d'abord réalisée puis, une couche de Cr, en tant que couche métallique (2, 4) et ensuite une couche présentant principalement du CrAlN, en tant que couche céramique (3, 5), sont déposées et la couche céramique (3, 5) sous forme de couche de CrAlN comprenant des microcouches (6) de CrN incorporées, est déposée en ajoutant de l'azote et en utilisant une cible CrAl et une cible Cr, et/ou le métal de base est choisi dans le groupe comprenant des alliages de Fe, Ni et Co et des composites céramiques ainsi que des céramiques renforcées de fibres. L'invention concerne en outre une pièce revêtue de manière correspondante.</abstract><oa>free_for_read</oa></addata></record> |
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