ANTIREFLECTION FILM, OPTICAL DEVICE, AND METHOD FOR FORMING ANTIREFLECTION FILM
One purpose of the present invention is to provide: an antireflection film which has low reflectance, low reflection color unevenness, and excellent durability; and an optical device having the same. Furthermore, another purpose of the present invention is to provide a method for forming said antire...
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| Format: | Patent |
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| creator | KAWAMATA, Kazuo SHIBUYA, Minoru HASHIMOTO, Suzumi |
| description | One purpose of the present invention is to provide: an antireflection film which has low reflectance, low reflection color unevenness, and excellent durability; and an optical device having the same. Furthermore, another purpose of the present invention is to provide a method for forming said antireflection film with good productivity. The antireflection film according to the present invention is an antireflection film 1 of an optical device 11 having a convex optical surface 11a which has a maximum inclination angle of 25° or higher, the antireflection film 1 having a multilayer structure and being provided on the convex optical surface 11a side, wherein in each of optical thin films 2 constituting the multilayer structure, a filling rate in any region is 90% or more, an L value in the L*a*b*color system of CIE1976 satisfies conditional expression (1) below, and Δa, a difference between a-values in any two regions, and Δb, a difference between b-values in said two regions satisfy conditional expression (2) below. L < 5 ... (1) (Δa2+Δb2)1/2 < 5 ... (2)
Un objectif de la présente invention est de produire : un film antireflet qui a un faible facteur de réflexion, une faible irrégularité de couleur de réflexion et une excellente durabilité; et un dispositif optique le comportant. En outre, un autre objectif de la présente invention est de produire un procédé pour former ledit film antireflet avec une bonne productivité. Le film antireflet selon la présente invention est un film antireflet 1 d'un dispositif optique 11 ayant une surface optique convexe 11a qui présente un angle d'inclinaison maximal de 25° ou plus, le film antireflet 1 ayant une structure multicouche et étant disposé sur le côté surface optique convexe 11a, dans chacun des films minces optiques 2 constituant la structure multicouche, un taux de remplissage dans n'importe quelle région étant de 90 % ou plus, une valeur L dans le système de couleur L*a*b* de CIE1976 satisfaisant l'expression conditionnelle (1) ci-dessous, et Δa, une différence entre des valeurs a dans deux régions quelconques, et Δb, une différence entre des valeurs b dans lesdites deux régions satisfaisant l'expression conditionnelle (2) ci-dessous. L < 5 ... (1) (Δa2+Δb2)1/2 < 5 ... (2)
本件発明は、反射率が低くて反射色のムラが小さく、耐久性に優れた反射防止膜及びそれを備える光学素子を提供することを目的とする。さらに、そのような反射防止膜の生産性に優れた成膜方法を提供することを目的とする。本件発明に係る反射防止膜は、最大傾斜角度が２５°以上である凸の光学面１１ａを有する光学素子１１の、凸の光学面１１ａ側に設ける多層構造を備える反射防止膜１であって、多層構造を構成する各光学薄膜２は、任意の箇所の充填率が９０％以上であり、ＣＩＥ１９７６のＬ＊ａ＊ｂ＊表色系におけるＬ値が以 |
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Un objectif de la présente invention est de produire : un film antireflet qui a un faible facteur de réflexion, une faible irrégularité de couleur de réflexion et une excellente durabilité; et un dispositif optique le comportant. En outre, un autre objectif de la présente invention est de produire un procédé pour former ledit film antireflet avec une bonne productivité. Le film antireflet selon la présente invention est un film antireflet 1 d'un dispositif optique 11 ayant une surface optique convexe 11a qui présente un angle d'inclinaison maximal de 25° ou plus, le film antireflet 1 ayant une structure multicouche et étant disposé sur le côté surface optique convexe 11a, dans chacun des films minces optiques 2 constituant la structure multicouche, un taux de remplissage dans n'importe quelle région étant de 90 % ou plus, une valeur L dans le système de couleur L*a*b* de CIE1976 satisfaisant l'expression conditionnelle (1) ci-dessous, et Δa, une différence entre des valeurs a dans deux régions quelconques, et Δb, une différence entre des valeurs b dans lesdites deux régions satisfaisant l'expression conditionnelle (2) ci-dessous. L < 5 ... (1) (Δa2+Δb2)1/2 < 5 ... (2)
本件発明は、反射率が低くて反射色のムラが小さく、耐久性に優れた反射防止膜及びそれを備える光学素子を提供することを目的とする。さらに、そのような反射防止膜の生産性に優れた成膜方法を提供することを目的とする。本件発明に係る反射防止膜は、最大傾斜角度が２５°以上である凸の光学面１１ａを有する光学素子１１の、凸の光学面１１ａ側に設ける多層構造を備える反射防止膜１であって、多層構造を構成する各光学薄膜２は、任意の箇所の充填率が９０％以上であり、ＣＩＥ１９７６のＬ＊ａ＊ｂ＊表色系におけるＬ値が以下の条件式（１）を満たし、任意の２箇所におけるａ値の差Δａ及び当該２箇所におけるｂ値の差Δｂが以下の条件式（２）を満たす。 Ｌ＜５ ...（１） （Δａ２＋Δｂ２）１／２＜５ ...（２）</description><language>eng ; fre ; jpn</language><subject>CHEMICAL SURFACE TREATMENT ; CHEMISTRY ; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATIONOR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL ; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY IONIMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL ; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL ; COATING METALLIC MATERIAL ; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL ; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION INGENERAL ; METALLURGY ; OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS ; OPTICS ; PHYSICS ; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THESURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION</subject><creationdate>2020</creationdate><oa>free_for_read</oa><woscitedreferencessubscribed>false</woscitedreferencessubscribed></display><links><openurl>$$Topenurl_article</openurl><openurlfulltext>$$Topenurlfull_article</openurlfulltext><thumbnail>$$Tsyndetics_thumb_exl</thumbnail><linktohtml>$$Uhttps://worldwide.espacenet.com/publicationDetails/biblio?FT=D&date=20200227&DB=EPODOC&CC=WO&NR=2020039976A1$$EHTML$$P50$$Gepo$$Hfree_for_read</linktohtml><link.rule.ids>230,308,777,882,25545,76296</link.rule.ids><linktorsrc>$$Uhttps://worldwide.espacenet.com/publicationDetails/biblio?FT=D&date=20200227&DB=EPODOC&CC=WO&NR=2020039976A1$$EView_record_in_European_Patent_Office$$FView_record_in_$$GEuropean_Patent_Office$$Hfree_for_read</linktorsrc></links><search><creatorcontrib>KAWAMATA, Kazuo</creatorcontrib><creatorcontrib>SHIBUYA, Minoru</creatorcontrib><creatorcontrib>HASHIMOTO, Suzumi</creatorcontrib><title>ANTIREFLECTION FILM, OPTICAL DEVICE, AND METHOD FOR FORMING ANTIREFLECTION FILM</title><description>One purpose of the present invention is to provide: an antireflection film which has low reflectance, low reflection color unevenness, and excellent durability; and an optical device having the same. Furthermore, another purpose of the present invention is to provide a method for forming said antireflection film with good productivity. The antireflection film according to the present invention is an antireflection film 1 of an optical device 11 having a convex optical surface 11a which has a maximum inclination angle of 25° or higher, the antireflection film 1 having a multilayer structure and being provided on the convex optical surface 11a side, wherein in each of optical thin films 2 constituting the multilayer structure, a filling rate in any region is 90% or more, an L value in the L*a*b*color system of CIE1976 satisfies conditional expression (1) below, and Δa, a difference between a-values in any two regions, and Δb, a difference between b-values in said two regions satisfy conditional expression (2) below. L < 5 ... (1) (Δa2+Δb2)1/2 < 5 ... (2)
Un objectif de la présente invention est de produire : un film antireflet qui a un faible facteur de réflexion, une faible irrégularité de couleur de réflexion et une excellente durabilité; et un dispositif optique le comportant. En outre, un autre objectif de la présente invention est de produire un procédé pour former ledit film antireflet avec une bonne productivité. Le film antireflet selon la présente invention est un film antireflet 1 d'un dispositif optique 11 ayant une surface optique convexe 11a qui présente un angle d'inclinaison maximal de 25° ou plus, le film antireflet 1 ayant une structure multicouche et étant disposé sur le côté surface optique convexe 11a, dans chacun des films minces optiques 2 constituant la structure multicouche, un taux de remplissage dans n'importe quelle région étant de 90 % ou plus, une valeur L dans le système de couleur L*a*b* de CIE1976 satisfaisant l'expression conditionnelle (1) ci-dessous, et Δa, une différence entre des valeurs a dans deux régions quelconques, et Δb, une différence entre des valeurs b dans lesdites deux régions satisfaisant l'expression conditionnelle (2) ci-dessous. L < 5 ... (1) (Δa2+Δb2)1/2 < 5 ... (2)
本件発明は、反射率が低くて反射色のムラが小さく、耐久性に優れた反射防止膜及びそれを備える光学素子を提供することを目的とする。さらに、そのような反射防止膜の生産性に優れた成膜方法を提供することを目的とする。本件発明に係る反射防止膜は、最大傾斜角度が２５°以上である凸の光学面１１ａを有する光学素子１１の、凸の光学面１１ａ側に設ける多層構造を備える反射防止膜１であって、多層構造を構成する各光学薄膜２は、任意の箇所の充填率が９０％以上であり、ＣＩＥ１９７６のＬ＊ａ＊ｂ＊表色系におけるＬ値が以下の条件式（１）を満たし、任意の２箇所におけるａ値の差Δａ及び当該２箇所におけるｂ値の差Δｂが以下の条件式（２）を満たす。 Ｌ＜５ ...（１） （Δａ２＋Δｂ２）１／２＜５ ...（２）</description><subject>CHEMICAL SURFACE TREATMENT</subject><subject>CHEMISTRY</subject><subject>COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATIONOR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL</subject><subject>COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY IONIMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL</subject><subject>COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL</subject><subject>COATING METALLIC MATERIAL</subject><subject>DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL</subject><subject>INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION INGENERAL</subject><subject>METALLURGY</subject><subject>OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS</subject><subject>OPTICS</subject><subject>PHYSICS</subject><subject>SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THESURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION</subject><fulltext>true</fulltext><rsrctype>patent</rsrctype><creationdate>2020</creationdate><recordtype>patent</recordtype><sourceid>EVB</sourceid><recordid>eNrjZPB39AvxDHJ183F1DvH091Nw8_Tx1VHwDwjxdHb0UXBxDfN0dtVRcPRzUfB1DfHwd1Fw8w8CYV9PP3cFLHp5GFjTEnOKU3mhNDeDsptriLOHbmpBfnxqcUFicmpeakl8uL-RgZGBgbGlpbmZo6ExcaoA2FUvcQ</recordid><startdate>20200227</startdate><enddate>20200227</enddate><creator>KAWAMATA, Kazuo</creator><creator>SHIBUYA, Minoru</creator><creator>HASHIMOTO, Suzumi</creator><scope>EVB</scope></search><sort><creationdate>20200227</creationdate><title>ANTIREFLECTION FILM, OPTICAL DEVICE, AND METHOD FOR FORMING ANTIREFLECTION FILM</title><author>KAWAMATA, Kazuo ; SHIBUYA, Minoru ; HASHIMOTO, Suzumi</author></sort><facets><frbrtype>5</frbrtype><frbrgroupid>cdi_FETCH-epo_espacenet_WO2020039976A13</frbrgroupid><rsrctype>patents</rsrctype><prefilter>patents</prefilter><language>eng ; fre ; jpn</language><creationdate>2020</creationdate><topic>CHEMICAL SURFACE TREATMENT</topic><topic>CHEMISTRY</topic><topic>COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATIONOR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL</topic><topic>COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY IONIMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL</topic><topic>COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL</topic><topic>COATING METALLIC MATERIAL</topic><topic>DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL</topic><topic>INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION INGENERAL</topic><topic>METALLURGY</topic><topic>OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS</topic><topic>OPTICS</topic><topic>PHYSICS</topic><topic>SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THESURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION</topic><toplevel>online_resources</toplevel><creatorcontrib>KAWAMATA, Kazuo</creatorcontrib><creatorcontrib>SHIBUYA, Minoru</creatorcontrib><creatorcontrib>HASHIMOTO, Suzumi</creatorcontrib><collection>esp@cenet</collection></facets><delivery><delcategory>Remote Search Resource</delcategory><fulltext>fulltext_linktorsrc</fulltext></delivery><addata><au>KAWAMATA, Kazuo</au><au>SHIBUYA, Minoru</au><au>HASHIMOTO, Suzumi</au><format>patent</format><genre>patent</genre><ristype>GEN</ristype><title>ANTIREFLECTION FILM, OPTICAL DEVICE, AND METHOD FOR FORMING ANTIREFLECTION FILM</title><date>2020-02-27</date><risdate>2020</risdate><abstract>One purpose of the present invention is to provide: an antireflection film which has low reflectance, low reflection color unevenness, and excellent durability; and an optical device having the same. Furthermore, another purpose of the present invention is to provide a method for forming said antireflection film with good productivity. The antireflection film according to the present invention is an antireflection film 1 of an optical device 11 having a convex optical surface 11a which has a maximum inclination angle of 25° or higher, the antireflection film 1 having a multilayer structure and being provided on the convex optical surface 11a side, wherein in each of optical thin films 2 constituting the multilayer structure, a filling rate in any region is 90% or more, an L value in the L*a*b*color system of CIE1976 satisfies conditional expression (1) below, and Δa, a difference between a-values in any two regions, and Δb, a difference between b-values in said two regions satisfy conditional expression (2) below. L < 5 ... (1) (Δa2+Δb2)1/2 < 5 ... (2)
Un objectif de la présente invention est de produire : un film antireflet qui a un faible facteur de réflexion, une faible irrégularité de couleur de réflexion et une excellente durabilité; et un dispositif optique le comportant. En outre, un autre objectif de la présente invention est de produire un procédé pour former ledit film antireflet avec une bonne productivité. Le film antireflet selon la présente invention est un film antireflet 1 d'un dispositif optique 11 ayant une surface optique convexe 11a qui présente un angle d'inclinaison maximal de 25° ou plus, le film antireflet 1 ayant une structure multicouche et étant disposé sur le côté surface optique convexe 11a, dans chacun des films minces optiques 2 constituant la structure multicouche, un taux de remplissage dans n'importe quelle région étant de 90 % ou plus, une valeur L dans le système de couleur L*a*b* de CIE1976 satisfaisant l'expression conditionnelle (1) ci-dessous, et Δa, une différence entre des valeurs a dans deux régions quelconques, et Δb, une différence entre des valeurs b dans lesdites deux régions satisfaisant l'expression conditionnelle (2) ci-dessous. L < 5 ... (1) (Δa2+Δb2)1/2 < 5 ... (2)
本件発明は、反射率が低くて反射色のムラが小さく、耐久性に優れた反射防止膜及びそれを備える光学素子を提供することを目的とする。さらに、そのような反射防止膜の生産性に優れた成膜方法を提供することを目的とする。本件発明に係る反射防止膜は、最大傾斜角度が２５°以上である凸の光学面１１ａを有する光学素子１１の、凸の光学面１１ａ側に設ける多層構造を備える反射防止膜１であって、多層構造を構成する各光学薄膜２は、任意の箇所の充填率が９０％以上であり、ＣＩＥ１９７６のＬ＊ａ＊ｂ＊表色系におけるＬ値が以下の条件式（１）を満たし、任意の２箇所におけるａ値の差Δａ及び当該２箇所におけるｂ値の差Δｂが以下の条件式（２）を満たす。 Ｌ＜５ ...（１） （Δａ２＋Δｂ２）１／２＜５ ...（２）</abstract><oa>free_for_read</oa></addata></record> |
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| subjects | CHEMICAL SURFACE TREATMENT CHEMISTRY COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATIONOR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY IONIMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL COATING METALLIC MATERIAL DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION INGENERAL METALLURGY OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS OPTICS PHYSICS SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THESURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION |
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