CHROMATIC CONFOCAL AREA SENSOR

3D measurements of features on a workpiece, such as ball height, co-planarity, component thickness, or warpage, are determined. The system includes a broadband light source, a microlens array, a tunable color filter, a lens system, and a detector. The microlens array can focus a light beam to a points in a focal plane of the microlens array. The tunable color filter can narrow the light beam to a band at a central wavelength. The lens system can provide longitudinal chromatic aberration whereby different wavelengths are imaged at different distances from the lens system. L'invention concerne la détermination de mesures 3D de caractéristiques sur une pièce de travail, telles qu'une hauteur de bille, une coplanarité, une épaisseur de composant ou un gauchissement. Le système comprend une source de lumière à large bande, un réseau de microlentilles, un filtre de couleur accordable, un système de lentille et un détecteur. Le réseau de microlentilles peut focaliser un faisceau lumineux sur des points dans un plan focal du réseau de microlentilles. Le filtre coloré accordable peut rétrécir le faisceau lumineux vers une bande à une longueur d'onde centrale. Le système de lentille peut fournir une aberration chromatique longitudinale, de telle sorte que différentes longueurs d'onde soient imagées à différentes distances du système de lentille.