POSITIONING SYSTEM FOR A LITHOGRAPHIC APPARATUS

A positioning system to position a structure comprises an actuator and a control unit to control the actuator in response to a position setpoint received by the control unit. The actuator comprises a magnet assembly comprises a magnet configured to provide a magnetic flux, and a coil assembly, wherein the coil assembly and the magnet assembly are movable relative to each other, the coil assembly comprising a coil, an actuation of the coil by a drive current providing for a force between the magnet assembly and the coil assembly. The magnet assembly comprises a further electric conductor, the further electric conductor comprising a non-ferromagnetic electrically conductive material, wherein the further electric conductor is magnetically coupled to the coil of the coil assembly and forms a short circuit path for an inductive electrical current induced in the further electric conductor as a result of an actuator current in the coil. La présente invention concerne un système de positionnement qui sert à positionner une structure et qui comprend un actionneur ainsi qu'une unité de commande servant à commander l'actionneur en réponse à un point de consigne de position reçu par l'unité de commande. L'actionneur comprend un ensemble aimant comprenant un aimant conçu pour fournir un flux magnétique, ainsi qu'un ensemble bobine, l'ensemble bobine et l'ensemble aimant étant mobiles l'un par rapport à l'autre, l'ensemble bobine comprenant une bobine, l'actionnement de la bobine par un courant d'attaque assurant la présence d'une force entre l'ensemble aimant et l'ensemble bobine. L'ensemble aimant comprend un autre conducteur électrique, l'autre conducteur électrique comprenant un matériau électriquement conducteur et non ferromagnétique, l'autre conducteur électrique étant magnétiquement couplé à la bobine de l'ensemble bobine et formant un trajet de court-circuit pour un courant électrique inductif induit dans l'autre conducteur électrique suite à la présence d'un courant d'actionneur dans la bobine.