MASS FLOW CONTROLLER WITH ABSOLUTE AND DIFFERENTIAL PRESSURE TRANSDUCER

An example mass flow controller comprises a flow pathway comprising a first cavity and a second cavity, a laminar flow element and a pressure transducer assembly comprising an absolute pressure transducer exposed to absolute pressure in the third cavity in fluid communication with the first cavity, and a differential pressure transducer exposed to differential pressure between the third cavity and the second cavity. The mass flow controller also comprises a flow control valve downstream of the laminar flow element and actuated according to pressures sensed by pressure transducer assembly. La présente invention porte sur un régulateur de débit massique donné à titre d'exemple qui comprend un trajet d'écoulement comprenant une première cavité et une deuxième cavité, un élément d'écoulement laminaire et un ensemble transducteur de pression comprenant un transducteur de pression absolue exposé à une pression absolue dans la troisième cavité en communication fluidique avec la première cavité, et un transducteur de pression différentielle exposé à une pression différentielle entre la troisième cavité et la deuxième cavité. Le régulateur de débit massique comprend également une vanne de régulation de débit située en aval de l'élément d'écoulement laminaire et actionnée en fonction de pressions détectées par l'ensemble transducteur de pression.