PHOTONIC GAS SENSOR AND METHOD FOR PRODUCING A PHOTONIC GAS SENSOR

PHOTONIC GAS SENSOR AND METHOD FOR PRODUCING A PHOTONIC GAS SENSOR

Es wird ein photonischer Gassensor mit den folgenden Merkmalen angegeben: -einem Bauelementgehäuse (1) mit mindestens einer Kavität (2, 3, 11), -einem strahlungsemittierenden Halbleiterchip (4), der in der Kavität (2, 3, 11) angeordnet ist und dazu geeignet ist, elektromagnetische Strahlung eines er...

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Hauptverfasser: MATTHIAS, Sperl, TIM, Boescke, DANIELE, Brunazzo
Format: Patent
Sprache:eng ; fre ; ger
Schlagworte:
INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIRCHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
MEASURING
PHYSICS
TESTING
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creator MATTHIAS, Sperl
TIM, Boescke
DANIELE, Brunazzo
description Es wird ein photonischer Gassensor mit den folgenden Merkmalen angegeben: -einem Bauelementgehäuse (1) mit mindestens einer Kavität (2, 3, 11), -einem strahlungsemittierenden Halbleiterchip (4), der in der Kavität (2, 3, 11) angeordnet ist und dazu geeignet ist, elektromagnetische Strahlung eines ersten Wellenlängenbereichs auszusenden, -einem strahlungsdetektierenden Halbleiterchip (5), der in der Kavität (2, 3, 11) angeordnet und dazu geeignet ist, elektromagnetische Strahlung eines zweiten Wellenlängenbereichs zu detektieren, und -einem aktiven Sensorelement (7), das einen Fluoreszenzfarbstoff (8) aufweist, der bei Anregung mit elektromagnetischer Strahlung des ersten Wellenlängenbereichs elektromagnetische Strahlung des zweiten Wellenlängenbereichs aussendet, wobei sich die Intensität der ausgesandten elektromagnetischen Strahlung des zweiten Wellenlängenbereichs in Anwesenheit eines zu detektierenden Gases reversibel verändert. Außerdem wird ein Verfahren zur Herstellung eines Gassensors angegeben. The invention relates to a photonic gas sensor with the following features: - a component housing (1) with at least one cavity (2, 3, 11), - a radiation-emitting semiconductor chip (4) which is arranged in the cavity (2, 3, 11) and is suitable for emitting electromagnetic radiation in a first wavelength range, - a radiation-detecting semiconductor chip (5) which is arranged in the cavity (2, 3, 11) and is suitable for detecting electromagnetic radiation in a second wavelength range, and - an active sensor element (7) which has a fluorescent dye (8) which emits electromagnetic radiation in the second wavelength range upon being excited by electromagnetic radiation in the first wavelength range, wherein the intensity of the emitted electromagnetic radiation in the second wavelength range changes reversibly in the presence of a gas to be detected. The invention additionally relates to a method for producing a gas sensor. L'invention concerne un capteur de gaz photonique présentant les caractéristiques suivantes : un boîtier d'éléments (1) pourvu d'au moins une cavité (2, 3, 11); une puce semi-conductrice d'émission de rayonnement (4) qui est disposée dans la cavité (2, 3, 11) et qui est adaptée pour émettre un rayonnement électromagnétique d'une première plage de longueurs d'onde; une puce semi-conductrice de détection de rayonnement (5) qui est disposée dans la cavité (2, 3, 11) et qui est adaptée pour détecter un rayonnement électromagnétique d'une deuxième
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Außerdem wird ein Verfahren zur Herstellung eines Gassensors angegeben. The invention relates to a photonic gas sensor with the following features: - a component housing (1) with at least one cavity (2, 3, 11), - a radiation-emitting semiconductor chip (4) which is arranged in the cavity (2, 3, 11) and is suitable for emitting electromagnetic radiation in a first wavelength range, - a radiation-detecting semiconductor chip (5) which is arranged in the cavity (2, 3, 11) and is suitable for detecting electromagnetic radiation in a second wavelength range, and - an active sensor element (7) which has a fluorescent dye (8) which emits electromagnetic radiation in the second wavelength range upon being excited by electromagnetic radiation in the first wavelength range, wherein the intensity of the emitted electromagnetic radiation in the second wavelength range changes reversibly in the presence of a gas to be detected. The invention additionally relates to a method for producing a gas sensor. L'invention concerne un capteur de gaz photonique présentant les caractéristiques suivantes : un boîtier d'éléments (1) pourvu d'au moins une cavité (2, 3, 11); une puce semi-conductrice d'émission de rayonnement (4) qui est disposée dans la cavité (2, 3, 11) et qui est adaptée pour émettre un rayonnement électromagnétique d'une première plage de longueurs d'onde; une puce semi-conductrice de détection de rayonnement (5) qui est disposée dans la cavité (2, 3, 11) et qui est adaptée pour détecter un rayonnement électromagnétique d'une deuxième plage de longueurs d'onde; et un élément de capteur (7) actif qui présente un colorant fluorescent (8) qui émet, en cas d'excitation avec un rayonnement électromagnétique de la première plage de longueurs d'onde, un rayonnement électromagnétique de la deuxième plage de longueurs d'onde, l'intensité du rayonnement électromagnétique émis de la deuxième plage de longueurs d'onde variant de manière réversible en présence d'un gaz à détecter. L'invention concerne par ailleurs un procédé de fabrication d'un capteur de gaz.</description><language>eng ; fre ; ger</language><subject>INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIRCHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES ; MEASURING ; PHYSICS ; TESTING</subject><creationdate>2019</creationdate><oa>free_for_read</oa><woscitedreferencessubscribed>false</woscitedreferencessubscribed></display><links><openurl>$$Topenurl_article</openurl><openurlfulltext>$$Topenurlfull_article</openurlfulltext><thumbnail>$$Tsyndetics_thumb_exl</thumbnail><linktohtml>$$Uhttps://worldwide.espacenet.com/publicationDetails/biblio?FT=D&amp;date=20190531&amp;DB=EPODOC&amp;CC=WO&amp;NR=2019101933A1$$EHTML$$P50$$Gepo$$Hfree_for_read</linktohtml><link.rule.ids>230,308,780,885,25564,76547</link.rule.ids><linktorsrc>$$Uhttps://worldwide.espacenet.com/publicationDetails/biblio?FT=D&amp;date=20190531&amp;DB=EPODOC&amp;CC=WO&amp;NR=2019101933A1$$EView_record_in_European_Patent_Office$$FView_record_in_$$GEuropean_Patent_Office$$Hfree_for_read</linktorsrc></links><search><creatorcontrib>MATTHIAS, Sperl</creatorcontrib><creatorcontrib>TIM, Boescke</creatorcontrib><creatorcontrib>DANIELE, Brunazzo</creatorcontrib><title>PHOTONIC GAS SENSOR AND METHOD FOR PRODUCING A PHOTONIC GAS SENSOR</title><description>Es wird ein photonischer Gassensor mit den folgenden Merkmalen angegeben: -einem Bauelementgehäuse (1) mit mindestens einer Kavität (2, 3, 11), -einem strahlungsemittierenden Halbleiterchip (4), der in der Kavität (2, 3, 11) angeordnet ist und dazu geeignet ist, elektromagnetische Strahlung eines ersten Wellenlängenbereichs auszusenden, -einem strahlungsdetektierenden Halbleiterchip (5), der in der Kavität (2, 3, 11) angeordnet und dazu geeignet ist, elektromagnetische Strahlung eines zweiten Wellenlängenbereichs zu detektieren, und -einem aktiven Sensorelement (7), das einen Fluoreszenzfarbstoff (8) aufweist, der bei Anregung mit elektromagnetischer Strahlung des ersten Wellenlängenbereichs elektromagnetische Strahlung des zweiten Wellenlängenbereichs aussendet, wobei sich die Intensität der ausgesandten elektromagnetischen Strahlung des zweiten Wellenlängenbereichs in Anwesenheit eines zu detektierenden Gases reversibel verändert. Außerdem wird ein Verfahren zur Herstellung eines Gassensors angegeben. The invention relates to a photonic gas sensor with the following features: - a component housing (1) with at least one cavity (2, 3, 11), - a radiation-emitting semiconductor chip (4) which is arranged in the cavity (2, 3, 11) and is suitable for emitting electromagnetic radiation in a first wavelength range, - a radiation-detecting semiconductor chip (5) which is arranged in the cavity (2, 3, 11) and is suitable for detecting electromagnetic radiation in a second wavelength range, and - an active sensor element (7) which has a fluorescent dye (8) which emits electromagnetic radiation in the second wavelength range upon being excited by electromagnetic radiation in the first wavelength range, wherein the intensity of the emitted electromagnetic radiation in the second wavelength range changes reversibly in the presence of a gas to be detected. The invention additionally relates to a method for producing a gas sensor. L'invention concerne un capteur de gaz photonique présentant les caractéristiques suivantes : un boîtier d'éléments (1) pourvu d'au moins une cavité (2, 3, 11); une puce semi-conductrice d'émission de rayonnement (4) qui est disposée dans la cavité (2, 3, 11) et qui est adaptée pour émettre un rayonnement électromagnétique d'une première plage de longueurs d'onde; une puce semi-conductrice de détection de rayonnement (5) qui est disposée dans la cavité (2, 3, 11) et qui est adaptée pour détecter un rayonnement électromagnétique d'une deuxième plage de longueurs d'onde; et un élément de capteur (7) actif qui présente un colorant fluorescent (8) qui émet, en cas d'excitation avec un rayonnement électromagnétique de la première plage de longueurs d'onde, un rayonnement électromagnétique de la deuxième plage de longueurs d'onde, l'intensité du rayonnement électromagnétique émis de la deuxième plage de longueurs d'onde variant de manière réversible en présence d'un gaz à détecter. 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Außerdem wird ein Verfahren zur Herstellung eines Gassensors angegeben. The invention relates to a photonic gas sensor with the following features: - a component housing (1) with at least one cavity (2, 3, 11), - a radiation-emitting semiconductor chip (4) which is arranged in the cavity (2, 3, 11) and is suitable for emitting electromagnetic radiation in a first wavelength range, - a radiation-detecting semiconductor chip (5) which is arranged in the cavity (2, 3, 11) and is suitable for detecting electromagnetic radiation in a second wavelength range, and - an active sensor element (7) which has a fluorescent dye (8) which emits electromagnetic radiation in the second wavelength range upon being excited by electromagnetic radiation in the first wavelength range, wherein the intensity of the emitted electromagnetic radiation in the second wavelength range changes reversibly in the presence of a gas to be detected. The invention additionally relates to a method for producing a gas sensor. 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