INFRARED IRRADIATION MODULE

Bekannte Infrarot-Bestrahlungsmodule zur Behandlung eines Substrats umfassen ein Modul-Gehäuse, eine Strahlereinheit, die mehrere Infrarotstrahler zur Emission von Infrarotstrahlung auf das Substrat sowie eine Halteeinrichtung zur Halterung der Infrarotstrahler aufweist, (c) eine Kühlluft-Zuführungs...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: KRAFFT, Vincent, BÜNGENER, Jens, VON RIEWEL, Larisa
Format: Patent
Sprache:eng ; fre ; ger
Schlagworte:
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