INFRARED IRRADIATION MODULE
Bekannte Infrarot-Bestrahlungsmodule zur Behandlung eines Substrats umfassen ein Modul-Gehäuse, eine Strahlereinheit, die mehrere Infrarotstrahler zur Emission von Infrarotstrahlung auf das Substrat sowie eine Halteeinrichtung zur Halterung der Infrarotstrahler aufweist, (c) eine Kühlluft-Zuführungs...
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Format: | Patent |
Sprache: | eng ; fre ; ger |
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