FIXED POSITION MASK FOR WORKPIECE EDGE TREATMENT

Embodiments of the disclosure include a fixed position mask for workpiece edge treatment. In some embodiments, an apparatus includes a roplat having a rotatable assembly, and a platen coupled to the rotatable assembly, wherein the platen is configured to hold a workpiece. The apparatus further includes a bracket affixed to the rotatable assembly, and a mask directly coupled to the bracket, wherein the mask is positioned adjacent the workpiece. The mask covers an inner portion of the platen and the workpiece, leaving just an outer circumferential edge of the workpiece exposed to an ion treatment. In some embodiments, the platen is permitted to rotate relative to the bracket during an ion treatment. In some embodiments, the mask includes a solid plate section devoid of any openings, and a mounting portion extending from the plate section, wherein the mounting portion is directly coupled to an extension arm of the bracket. Des modes de réalisation de la présente invention comprennent un masque de position fixe pour un traitement de bord de pièce de fabrication. Dans certains modes de réalisation, un appareil comprend une plaque rotative ("roplat") comportant un ensemble rotatif, et une platine couplée à l'ensemble rotatif, la platine étant configurée pour maintenir une pièce de fabrication. L'appareil comprend en outre un support fixé à l'ensemble rotatif, et un masque directement couplé au support, le masque étant positionné de façon adjacente à la pièce de fabrication. Le masque recouvre une partie interne de la platine et de la pièce de fabrication, en laissant uniquement un bord circonférentiel externe de la pièce de fabrication exposé à un traitement ionique. Dans certains modes de réalisation, la platine peut tourner par rapport au support pendant un traitement ionique. Dans certains modes de réalisation, le masque comprend une section de plaque pleine dépourvue d'ouvertures, et une partie de montage s'étendant depuis la section de plaque, la partie de montage étant directement couplée à un bras d'extension du support.