INSPECTION DEVICE, INSPECTION METHOD, AND METHOD FOR PRODUCING OBJECT TO BE INSPECTED

This inspection device has a ray source for irradiating energy rays toward an object to be inspected, a detection unit for detecting energy rays that have passed through the object to be inspected, a displacement mechanism for setting the positional relationship between the object to be inspected and the ray source by displacing at least one from among the object to be inspected and the ray source in relation to the other, an internal image generation unit for generating an internal image of the object to be inspected on the basis of the distribution of energy ray amounts detected by the detection unit, and a control unit for controlling the displacement mechanism on the basis of the distribution of the energy ray amounts detected by the detection unit. La présente invention concerne un dispositif d'inspection qui comprend une source de rayons pour diffuser des rayons d'énergie vers un objet à inspecter, une unité de détection pour détecter des rayons d'énergie qui ont traversé l'objet à inspecter, un mécanisme de déplacement pour régler la relation de position entre l'objet à inspecter et la source de rayons en déplaçant l'objet à inspecter et/ou la source de rayons par rapport à l'autre, une unité de génération d'image interne pour générer une image interne de l'objet à inspecter sur la base de la distribution de quantités de rayons d'énergie détectées par l'unité de détection, et une unité de commande pour commander le mécanisme de déplacement sur la base de la distribution des quantités de rayons d'énergie détectées par l'unité de détection. 検査装置は、検査対象物へエネルギー線を照射する線源と、検査対象物を通過したエネルギー線を検出する検出部と、検査対象物および前記線源の少なくとも一方を他方に対して相対的に変位させ、検査対象物と線源との相対位置を設定する変位機構と、検出部により検出されたエネルギー線の検出量分布に基づいて、検査対象物の内部画像を生成する内部画像生成部と、検出部で検出されたエネルギー線の検出量分布に基づき、変位機構を制御する制御部と、を有する。