REDUCED FOOTPRINT PLATFORM ARCHITECTURE WITH LINEAR VACUUM TRANSFER MODULE

An atmosphere-to-vacuum (ATV) transfer module for a substrate processing tool includes a first side configured to interface with at least one loading station, a transfer robot assembly arranged within the ATV transfer module, and a second side opposite the first side. The transfer robot assembly is configured to transfer substrates between the at least one loading station and at least one load lock arranged between the ATV transfer module and a vacuum transfer module (VTM). The second side is configured to interface with the at least one load lock. The transfer robot assembly is arranged adjacent to the second side, and the at least one load lock extends through the second side into an interior volume of the ATV transfer module. La présente invention concerne un module de transfert de l'atmosphère vers le vide (ATV) destiné à un outil de traitement de substrats qui comprend un premier côté configuré pour s'interfacer avec au moins un poste de chargement, un ensemble robot de transfert disposé à l'intérieur du module de transfert ATV, et un second côté opposé au premier côté. L'ensemble robot de transfert est configuré pour transférer des substrats entre le ou les postes de chargement et au moins un sas de charge disposé entre le module de transfert ATV et un module de transfert sous vide (VTM). Le second côté est configuré pour s'interfacer avec le ou les sas de charge. L'ensemble robot de transfert est disposé de façon adjacente au second côté, et le ou les sas de charge s'étendent à travers le second côté jusque dans un volume intérieur du module de transfert ATV.