MICROMECHANICAL PRESSURE SENSOR

Mikromechanischer Drucksensor (100), aufweisend: - einen Drucksensorkern (10) mit einer Sensormembran (14) und einer oberhalb der Sensormembran (14) ausgebildeten Kavität (11); und - einen Drucksensorrahmen (20); wobei - ein Federelement (15) zur mechanischen Anbindung des Drucksensorkerns (10) an d...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	HEUCK, Friedjof, FRIEDRICH, Thomas, GRUTZECK, Helmut, SCHWARZ, Mike, SENZ, Volkmar, DANNENBERG, Arne, MAUL, Robert, LUKACS, Ferenc, DÖGEI, Tamas
Format:	Patent
Sprache:	eng ; fre ; ger
Schlagworte:	MEASURING MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER,MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICALDEVICES MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY PERFORMING OPERATIONS PHYSICS PROCESSES OR APPARATUS SPECIALLY ADAPTED FOR THE MANUFACTUREOR TREATMENT OF MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS TESTING TRANSPORTING
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