EVAPORATION SOURCE WITH THERMAL ISOLATION ASSEMBLY

A modular demountable low-temperature high-output linear evaporation source (100) for depositing a semi-metal source material (75), in particular Se, on a substrate (50), the evaporation source comprising: a crucible (201) comprising: a base (203); a first plurality of walls (202) surrounding an interior region (204) of the crucible (201), the plurality of walls (202) including a first end wall (2021), a second end wall (2022) opposite to the first end wall 2021), a first side wall (2023), and a second side wall 2024) opposite to the first side wall 2023); a thermal isolation assembly (500) disposed around the walls (202) of the crucible (201), the thermal isolation assembly (500) comprising: a second plurality of walls (502) spaced apart from the walls (202) of the crucible (201), wherein one or more of the walls (502) of the thermal isolation assembly (500) includes an outer surface (523) having one or more grooves (522), wherein the outer surface (523) faces away from the interior region (204) of the crucible (201); and a second cooling tube (520) disposed in the one or more grooves (522) of the outer surface (523). Cette invention concerne une source d'évaporation linéaire modulaire démontable à haut débit et basse température (100) pour déposer un matériau source semi-métallique (75), en particulier du Se, sur un substrat (50), la source d'évaporation comprenant : un creuset (201) comprenant : une base (203); une première pluralité de parois (202) entourant une région intérieure (204) du creuset (201), la pluralité de parois (202) comprenant une première paroi d'extrémité (2021), une seconde paroi d'extrémité (2022) opposée à la première paroi d'extrémité (2021), une première paroi latérale (2023), et une seconde paroi latérale (2024) opposée à la première paroi latérale (2023); un ensemble d'isolation thermique (500) disposé autour des parois (202) du creuset (201), l'ensemble d'isolation thermique (500) comprenant : une seconde pluralité de parois (502) espacées des parois (202) du creuset (201), une ou plusieurs des parois (502) de l'ensemble d'isolation thermique (500) comprenant une surface externe (523) ayant une ou plusieurs rainures (522), la surface externe (523) étant orientée à l'opposé à la région intérieure (204) du creuset (201); et un second tube de refroidissement (520) disposé dans la/les rainure(s) (522) de la surface externe (523).