POSITIONING SYSTEM, CONTROL SYSTEM, METHOD TO POSITION, LITHOGRAPHIC APPARATUS AND DEVICE MANUFACTURING METHOD
The invention relates to a positioning system for positioning an object, comprising a base frame, a balance mass, a position actuator, a drift actuator and a control system, wherein the position actuator is arranged to apply a first force between the object and the balance mass to position the objec...
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Format: | Patent |
Sprache: | eng ; fre |
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